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EFFECT OF SENSOR CONFIGURATION FOR LOW TEMPERATURE GAS DETECTION WITH SEMICONDUCTING OXIDES

Haidry, Azhar Ali und Ciftyürek, Engin und Saruhan, Bilge (2015) EFFECT OF SENSOR CONFIGURATION FOR LOW TEMPERATURE GAS DETECTION WITH SEMICONDUCTING OXIDES. COST Action TD1105 - New Sensing Technologies for Air-Pollution Control and Environmental Sustainability -, 2015-06-03 - 2015-06-05, Linköping, Schweden.

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Kurzfassung

This work presents the results obtained towards NO2 by using TBE and IDE sensor configurations with the same sensing semiconductor layers. It is known that dopants such as Al3+ or Cr3+ can improves the sensing properties of semiconductor TiO2. Nevertheless, temperatures exceeding 400°C are required for reasonable sensor signal. The use of TBE configuration reduces the operation temperature of these sensors far below 400°C requiring no heater. The schematic of such a TBE electrode system is presented in Fig. 1. The sensors with TBE configuration were fabricated in three steps: firstly, 200 nm thick and 300 μm wide bottom Pt electrodes BE were patterned (via sputtering) on a Al2O3 substrates. The possible sensing mechanism is the matter of discussion in terms of depletion region (LD) and the potential barrier between grains (eVs at grain boundaries).

elib-URL des Eintrags:https://elib.dlr.de/98833/
Dokumentart:Konferenzbeitrag (Vortrag)
Titel:EFFECT OF SENSOR CONFIGURATION FOR LOW TEMPERATURE GAS DETECTION WITH SEMICONDUCTING OXIDES
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID-iDORCID Put Code
Haidry, Azhar AliNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Ciftyürek, EnginNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Saruhan, BilgeNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:4 Juni 2015
Referierte Publikation:Nein
Open Access:Nein
Gold Open Access:Nein
In SCOPUS:Nein
In ISI Web of Science:Nein
Status:veröffentlicht
Stichwörter:Electrode configuration, gas sensors, Cr-doped TiO2 coating, sputtering
Veranstaltungstitel:COST Action TD1105 - New Sensing Technologies for Air-Pollution Control and Environmental Sustainability -
Veranstaltungsort:Linköping, Schweden
Veranstaltungsart:Workshop
Veranstaltungsbeginn:3 Juni 2015
Veranstaltungsende:5 Juni 2015
Veranstalter :COST Action TD1105
HGF - Forschungsbereich:Luftfahrt, Raumfahrt und Verkehr
HGF - Programm:Luftfahrt
HGF - Programmthema:Antriebssysteme
DLR - Schwerpunkt:Luftfahrt
DLR - Forschungsgebiet:L ER - Engine Research
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):L - Turbinentechnologien (alt)
Standort: Köln-Porz
Institute & Einrichtungen:Institut für Werkstoff-Forschung > Hochtemperatur-und Funktionsschutzschichten
Hinterlegt von: Saruhan-Brings, Dr. Bilge
Hinterlegt am:26 Okt 2015 12:30
Letzte Änderung:24 Apr 2024 20:04

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