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Gas Flow Sputtering – An approach to coat complex geometries and Non Line of Sight areas

Tang, Stanley und Schulz, Uwe (2009) Gas Flow Sputtering – An approach to coat complex geometries and Non Line of Sight areas. Surface and Coatings Technology, 204, Seiten 1087-1091. Elsevier. doi: 10.1016/j.surfcoat.2009.08.016.

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Offizielle URL: http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2009.08.016

Kurzfassung

Most PVD techniques are limited in coating complex geometries such as turbine blades without additional substrate manipulation. A novel approach to overcome these limits is the innovative Gas Flow Sputtering. This technique combines a hollow cathode glow discharge with an argon gas flow that supports transportation of sputtered material to the substrate. The mixture of gas and sputtered material flows around the contour of the geometry and reaches Non Line of Sight areas. In this investigation different complex geometries such as u-shaped profiles and pipes were coated with pure titanium. The influence of the angle between gas flow direction and substrate surface (incident angle) on coating thickness distribution, microstructure and crystal orientation was examined by scanning electron microscopy (SEM) and X-ray diffraction (XRD). The results show that a stripe or a pipe placed parallel to the gas flow direction is coated over the whole length. The pipes are coated outside as well as inside. The circumference of a cylinder positioned perpendicular to the gas flow direction is completely covered with material. In all cases the coating thickness varies over the surface, which is caused by the interplay between convection and out-diffusion as the main deposition mechanisms.

elib-URL des Eintrags:https://elib.dlr.de/60973/
Dokumentart:Zeitschriftenbeitrag
Titel:Gas Flow Sputtering – An approach to coat complex geometries and Non Line of Sight areas
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID-iDORCID Put Code
Tang, StanleyNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Schulz, UweNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:2009
Erschienen in:Surface and Coatings Technology
Referierte Publikation:Ja
Open Access:Nein
Gold Open Access:Nein
In SCOPUS:Ja
In ISI Web of Science:Ja
Band:204
DOI:10.1016/j.surfcoat.2009.08.016
Seitenbereich:Seiten 1087-1091
Verlag:Elsevier
Status:veröffentlicht
Stichwörter:Gas flow Sputtering, GFS, Non Line of Sight, NLOS, PVD, Titanium
HGF - Forschungsbereich:Luftfahrt, Raumfahrt und Verkehr
HGF - Programm:Luftfahrt
HGF - Programmthema:Antriebe (alt)
DLR - Schwerpunkt:Luftfahrt
DLR - Forschungsgebiet:L ER - Antriebsforschung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):L - Turbinentechnologien (alt)
Standort: Köln-Porz
Institute & Einrichtungen:Institut für Werkstoff-Forschung > Hochtemperatur-und Funktionsschutzschichten
Hinterlegt von: Tang, Stanley
Hinterlegt am:30 Nov 2009 14:58
Letzte Änderung:10 Apr 2019 11:55

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