Scanwinkelmessung bei einem MEMS-basierten Laser-Entfernungsmesser

Abstract

1. Problemstellung und Zielsetzung der Diplomarbeit Die im Rahmen dieser Diplomarbeit bearbeitete Aufgabe umfasst die Konstruktion und Inbetriebnahme eines Prüfstandes. Dieser soll zur Vermessung von MEMS Spiegeln eingesetzt werden. Dies ist notwendig, um Laserhandscanner am Institut für Robotik und Mechatronik des Deutschen Zentrums für Luft und Raumfahrt (DLR) Oberpfaffenhofen mit diesen Aktoren auszustatten. Der Prüfstand soll die Charakterisierung der Spiegel, insbesondere das Schwingungsverhalten, ermöglichen. 2. Methodische Vorgehensweise Untersucht werden sollen zwei Spiegel unterschiedlicher Hersteller mit unterschiedlichen Schwingfrequenzen. Es sollen des Weiteren verschiedene Messmethoden gefunden und nach einer Evaluierung im Prüfstand umgesetzt werden. Unter Verwendung des Prüfstandes sollen die Spiegel untersucht werden und die zur Auswertung notwendige Software erstellt werden. Die Messung sowie die Auswertung der Ergebnisse erfolgen ebenfalls am PC. 3. Ergebnisse Die Auswertung der Messungen hat gezeigt, dass das angewendete Verfahren mittels einer Photodiode grundsätzlich geeignet ist, die Schwingung des Spiegels mit hinreichender Genauigkeit zu erfassen. Des Weiteren konnte das Oszillationsverhalten der Spiegel charakterisiert und durch ein mathematisches Modell beschrieben werden.