Schmitt, D.-R. (1990) Charakterisierung von Oberflaechen mit Rauhigkeiten unter 0,1 nm. Kongress Microsystems, 10.-13. September 1990, Berlin.
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Abstract
Bei der Miniaturisierung von Mikrosystemen stoesst man an Grenzen, die durch die Mikrorauhigkeit der verwendeten Oberflaechen vorgegeben sind. Daher kommt der Entwicklung und Charakterisierung von Oberflaechen mit Rauhigkeiten unter 0,1 nm eine Schluesselrolle zu. Superpolierte Oberflaechen wurden bei der DLR aus BK7, Quarzglas, Zerodur und Silizium entwickelt und charakterisiert. Zur Charakterisierung der Oberflaechen wurde die Differential- Interferenzkontrast-Mikroskopie nach Nomarski eingesetzt. Unter Verwendung einer ausgesuchten Objektiv-Prisma-Kombination mit minimiertem internen Streulicht konnten Rauhigkeiten unter 0,05 nm aufgeloest und kontrastreich abgebildet werden. Um quantitative Informationen zu erhalten, wurde die Rauhigkeit der Oberflaechen mit Hilfe von Streulichtmessungen, mit Phasenverschiebungs- Interferometrie, mit Heterodyn-Profilometrie und mit mechanischer Abtastung ermittelt. Es wird demonstriert, dass es moeglich ist, superpolierte Oberflaechen mit Rauhigkeiten unter 0,05 nm herzustellen und zu charakterisieren.
Item URL in elib: | https://elib.dlr.de/28689/ | ||||||||
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Document Type: | Conference or Workshop Item (Speech) | ||||||||
Additional Information: | LIDO-Berichtsjahr=1990, | ||||||||
Title: | Charakterisierung von Oberflaechen mit Rauhigkeiten unter 0,1 nm. | ||||||||
Authors: |
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Date: | 1990 | ||||||||
Open Access: | No | ||||||||
Gold Open Access: | No | ||||||||
In SCOPUS: | No | ||||||||
In ISI Web of Science: | No | ||||||||
Status: | Published | ||||||||
Keywords: | Oberflaeche, Rauhigkeit | ||||||||
Event Title: | Kongress Microsystems, 10.-13. September 1990, Berlin | ||||||||
HGF - Research field: | UNSPECIFIED | ||||||||
HGF - Program: | other | ||||||||
HGF - Program Themes: | other | ||||||||
DLR - Research area: | UNSPECIFIED | ||||||||
DLR - Program: | no assignment | ||||||||
DLR - Research theme (Project): | L - no assignment (old) | ||||||||
Location: | Braunschweig | ||||||||
Institutes and Institutions: | Institute of Flight Guidance | ||||||||
Deposited By: | DLR-Beauftragter, elib | ||||||||
Deposited On: | 02 Apr 2006 | ||||||||
Last Modified: | 27 Apr 2009 07:08 |
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