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Charakterisierung von superpolierten Oberflächen mit Rauhigkeiten unter 0,1 mm

Schmitt, D.-R. (1990) Charakterisierung von superpolierten Oberflächen mit Rauhigkeiten unter 0,1 mm. In: Tagungsband. Tagung des Ministeriums für Forschung und Technologie und des Bundesministeriums für Forschung und Technologie: "Wer macht was" - Forum, 11.-13. Juni 1990, Berlin.

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Abstract

Bei der Entwicklung der Dünnschichttechnologie stößt man sehr schnell an Grenzen, die durch die Mikrorauhigkeit der verwendeten Oberflächen vorgegeben sind. Es können zum Beispiel hochreflektierende Spiegel für Hochleistungslaser nur auf Substraten mit Rauhigkeiten unter 0,1 nm in zufriedenstellender Qualität hergestellt werden. Daher kommt der Entwicklung und Charakterisierung von Oberflächen mit Rauhigkeiten unter 0,1 nm eine Schlüsselposition zu. Es wird demonstriert, daß es möglich ist, superpolierte Oberflächen mit Rauhigkeiten unter 0,05 nm herzustellen und zu charakterisieren.

Item URL in elib:https://elib.dlr.de/28687/
Document Type:Conference or Workshop Item (Paper)
Additional Information: LIDO-Berichtsjahr=1990,
Title:Charakterisierung von superpolierten Oberflächen mit Rauhigkeiten unter 0,1 mm
Authors:
AuthorsInstitution or Email of AuthorsAuthors ORCID iD
Schmitt, D.-R.UNSPECIFIEDUNSPECIFIED
Date:1990
Journal or Publication Title:Tagungsband
Open Access:No
Gold Open Access:No
In SCOPUS:No
In ISI Web of Science:No
Status:Published
Keywords:Oberflaeche, Rauhigkeit
Event Title:Tagung des Ministeriums für Forschung und Technologie und des Bundesministeriums für Forschung und Technologie: "Wer macht was" - Forum, 11.-13. Juni 1990, Berlin
HGF - Research field:Aeronautics, Space and Transport (old)
HGF - Program:other
HGF - Program Themes:other
DLR - Research area:Space
DLR - Program:no assignment
DLR - Research theme (Project):L - Systems & Cabin (old)
Location: Braunschweig
Institutes and Institutions:Institute of Flight Control
Deposited By: DLR-Beauftragter, elib
Deposited On:02 Apr 2006
Last Modified:27 Apr 2009 07:08

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