Verfahren und Vorrichtung zur Detektion eines Kontaminationsmaterials auf einem unbekannten Substrat

Kurzfassung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Detektion eines Kontaminationsmaterials auf einem unbekannten Substrat (10) mittels Laser-Spektroskopie, insbesondere mittels Mittlerer Infrarot-Spektroskopie, Raman-Spektroskopie, oder Nah-InfrarotSpektroskopie, umfassend Senden eines Laserstrahls (112) auf das möglicherweise mit dem Kontaminationsmaterial beladene unbekannte Substrat (10) und Aufnehmen wenigstens eines Spektrums eines von dem mit dem Kontaminationsmaterial beladenen unbekannten Substrat (10) zurückgesendeten Laserstrahls (122); wobei ein Substrat-Hintergrund von dem wenigstens einen Spektrum des möglicherweise beladenen unbekannten Substrats (10) auf Basis eines, in einer Trainings-Phase (S200) an Spektren einer Mehrzahl von unbeladenen bekannten Substraten (20) angepassten, Modells zur, insbesondere inkrementellen, Hauptkomponentenanalyse subtrahiert wird, wobei eine Entscheidung über eine Beladung mit dem Kontaminationsmaterial in einer Inferenz-Phase (S300) mittels eines Klassifikators aus dem wenigstens einen Spektrum des möglicherweise beladenen unbekannten Substrats (10) getroffen wird. Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung, ein Computerprogrammprodukt sowie eine Verwendung der Vorrichtung.