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Prozessieren von Halbleitern in TEMPUS/EML

Lohöfer, G. (2005) Prozessieren von Halbleitern in TEMPUS/EML. Projektbericht, DLR-Interner Bericht. 333-05/1. 65 S.

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elib-URL des Eintrags:https://elib.dlr.de/18905/
Dokumentart:Berichtsreihe (Projektbericht, DLR-Interner Bericht)
Zusätzliche Informationen: LIDO-Berichtsjahr=2005,
Titel:Prozessieren von Halbleitern in TEMPUS/EML
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID-iDORCID Put Code
Lohöfer, G.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:2005
Open Access:Nein
Seitenanzahl:65
Status:veröffentlicht
Stichwörter:elektromagnetische Levitation (EML), TEMPUS, Halbleiter
HGF - Forschungsbereich:Verkehr und Weltraum (alt)
HGF - Programm:Weltraum (alt)
HGF - Programmthema:W FR - Forschung unter Weltraumbedingungen (alt)
DLR - Schwerpunkt:Weltraum
DLR - Forschungsgebiet:W FR - Forschung unter Weltraumbedingungen
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):NICHT SPEZIFIZIERT
Standort: Köln-Porz
Institute & Einrichtungen:Institut für Materialphysik im Weltraum > Institut für Raumsimulation
Hinterlegt von: Herrmann, Astrid
Hinterlegt am:09 Okt 2005
Letzte Änderung:14 Jan 2010 12:46

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