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PIEZORESISTIVER KRAFTSENSOR

Wagner, Hannes (2011) PIEZORESISTIVER KRAFTSENSOR. [Other]

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen piezoresistiven Kraftsensor mit einem Substrat, wenigstens einer auf der Oberfläche des Substrats mit Kohlenwasserstoff gebildeten piezoresistiven Sensorschicht, wenigstens einer auf die piezoresistive Sensorschicht aufgebrachten ersten Elektrode und wenigstens einer die piezoresistive Sensorschicht und die erste Elektrode abdeckenden Isolations- und Verschleißschutzschicht. Der Kraftsensor ist als separates Bauteil hergestellt, das nach seiner Herstellung in ein anderes Bauelement einsetzbar oder damit verbindbar ist. Die Erfindung betrifft außerdem vorteilhafte Verwendungen des Kraftsensors sowie ein Verfahren zur Bereitstellung eines Kraftsensors.

Item URL in elib:https://elib.dlr.de/82581/
Document Type:Other
Title:PIEZORESISTIVER KRAFTSENSOR
Authors:
AuthorsInstitution or Email of AuthorsAuthors ORCID iD
Wagner, HannesHannes.Wagner (at) dlr.deUNSPECIFIED
Date:29 December 2011
Journal or Publication Title:Patent WO002011160794
Refereed publication:No
Open Access:Yes
Gold Open Access:No
In SCOPUS:No
In ISI Web of Science:No
Status:Published
Keywords:Kraftsensor Dünnschichttechnik
HGF - Research field:Aeronautics, Space and Transport
HGF - Program:other
HGF - Program Themes:other
DLR - Research area:Aeronautics
DLR - Program:L - no assignment
DLR - Research theme (Project):L - no assignment (old)
Location: Braunschweig
Institutes and Institutions:Institute of Flight Systems > Safety Critical Systems and Systems Engineering
Deposited By: Wagner, Hannes
Deposited On:13 Jan 2016 08:42
Last Modified:31 Jul 2019 19:41

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