PIEZORESISTIVER KRAFTSENSOR

Wagner, Hannes (2011) PIEZORESISTIVER KRAFTSENSOR. [Other]

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen piezoresistiven Kraftsensor mit einem Substrat, wenigstens einer auf der Oberfläche des Substrats mit Kohlenwasserstoff gebildeten piezoresistiven Sensorschicht, wenigstens einer auf die piezoresistive Sensorschicht aufgebrachten ersten Elektrode und wenigstens einer die piezoresistive Sensorschicht und die erste Elektrode abdeckenden Isolations- und Verschleißschutzschicht. Der Kraftsensor ist als separates Bauteil hergestellt, das nach seiner Herstellung in ein anderes Bauelement einsetzbar oder damit verbindbar ist. Die Erfindung betrifft außerdem vorteilhafte Verwendungen des Kraftsensors sowie ein Verfahren zur Bereitstellung eines Kraftsensors.

Item URL in elib:

https://elib.dlr.de/82581/

Document Type:

Other

Title:

PIEZORESISTIVER KRAFTSENSOR

Authors:

Authors	Institution or Email of Authors	Author's ORCID iD	ORCID Put Code
Wagner, Hannes	UNSPECIFIED	UNSPECIFIED	UNSPECIFIED

Date:

29 December 2011

Journal or Publication Title:

Patent WO002011160794

Refereed publication:

Open Access:

Yes

Status:

Published

Keywords:

Kraftsensor Dünnschichttechnik

HGF - Research field:

Aeronautics, Space and Transport

HGF - Program:

other

HGF - Program Themes:

other

DLR - Research area:

Aeronautics

DLR - Program:

L - no assignment

DLR - Research theme (Project):

L - no assignment (old)

Location:

Braunschweig

Institutes and Institutions:

Institute of Flight Systems > Safety Critical Systems and Systems Engineering

Deposited By:

Wagner, Hannes

Deposited On:

13 Jan 2016 08:42

Last Modified:

31 Jul 2019 19:41

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