TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors

Il’in, K. und Rall, D. und Hofherr, M. und Siegel, M. und Semenov, A. D. und Hübers, H.-W. und Engel, A. und Schilling, A. (2010) TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors. In: Tagungsband, Seite 51. DLR. Kryo 2010, 03.-05.10.2010, Zeuthen, Brandenburg.

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Kurzfassung

Development of superconducting nanowire single-photon detectors (SNSPD) with a higher intrinsic detection efficiency, stronger absorption in a wider spectral range stimulates a study of thin films of different superconducting materials. The tantalum nitride TaN thin films are typically used as an insulator in multi-layer system for SIS device fabrication [1] or as cover layer to improve the hardness and chemical stability of any surfaces. At the same time there are only few and sometimes contradictory publications about superconductivity in thin films of TaN [1, 2]. We present results on fabrication and characterization of TaN thin films with a focus on their application in development of SNSPD devices.

Dokumentart:

Konferenzbeitrag (Poster)

Titel:

TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors

Autoren:

Autoren	Institution oder E-Mail-Adresse	Autoren-ORCID-iD
Il’in, K.	Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Karlsruher Institut für Technologie, Hertzstr. 16, 76187 Karlsruhe,	NICHT SPEZIFIZIERT
Rall, D.	Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Karlsruher Institut für Technologie, Hertzstr. 16, 76187 Karlsruhe,	NICHT SPEZIFIZIERT
Hofherr, M.	Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Karlsruher Institut für Technologie, Hertzstr. 16, 76187 Karlsruhe,	NICHT SPEZIFIZIERT
Siegel, M.	Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Karlsruher Institut für Technologie, Hertzstr. 16, 76187 Karlsruhe,	NICHT SPEZIFIZIERT
Semenov, A. D.	Alexei.Semenov@dlr.de	NICHT SPEZIFIZIERT
Hübers, H.-W.	heinz-wilhelm.huebers@dlr.de	NICHT SPEZIFIZIERT
Engel, A.	Physik-Institut der Universität Zürich Winterthurerstrasse 190 8057 Zürich, Schweiz	NICHT SPEZIFIZIERT
Schilling, A.	Physik-Institut der Universität Zürich Winterthurerstrasse 190 8057 Zürich, Schweiz	NICHT SPEZIFIZIERT

Datum:

Oktober 2010

Erschienen in:

Tagungsband

In Open Access:

Nein

In SCOPUS:

Nein

In ISI Web of Science:

Nein

Seitenbereich:

Seite 51

Verlag:

DLR

Status:

veröffentlicht

Stichwörter:

TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors, higher intrinsic detection efficiency, wider spectral range, SNSPD devices

Veranstaltungstitel:

Kryo 2010

Veranstaltungsort:

Zeuthen, Brandenburg

Veranstaltungsart:

nationale Konferenz

Veranstaltungsdatum:

03.-05.10.2010

Veranstalter :

DLR, Prof. Hübers

HGF - Forschungsbereich:

Verkehr und Weltraum (alt)

HGF - Programm:

Verkehr

HGF - Programmthema:

Verkehrsmanagement

DLR - Schwerpunkt:

Verkehr

DLR - Forschungsgebiet:

V VM - Verkehrsmanagement

DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):

V - FAMOUS (alt)

Standort:

Berlin-Adlershof

Institute & Einrichtungen:

Institut für Planetenforschung > Terahertz- und Infrarotsensorik

Hinterlegt von:

Stiebeler, Ulrike

Hinterlegt am:

04 Jan 2011 17:32

Letzte Änderung:

04 Jan 2011 17:32

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