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TPCVD of Si-[X-]C-N from Liquid Organometallic Precursors

Bouyer, E. und Müller, M. und Schiller, G. (2003) TPCVD of Si-[X-]C-N from Liquid Organometallic Precursors. 16th Int. Symposium on Plasma Chemistry, Taormina, Italien, Juni 2003.

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Offizielle URL: matthias.mueller@dlr.de


elib-URL des Eintrags:https://elib.dlr.de/2659/
Dokumentart:Konferenzbeitrag (Paper)
Zusätzliche Informationen: LIDO-Berichtsjahr=2003,
Titel:TPCVD of Si-[X-]C-N from Liquid Organometallic Precursors
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID-iDORCID Put Code
Bouyer, E.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Müller, M.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Schiller, G.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:2003
Open Access:Nein
Gold Open Access:Nein
In SCOPUS:Nein
In ISI Web of Science:Nein
Status:veröffentlicht
Stichwörter:TPCVD, liquid precursor, rf plasma
Veranstaltungstitel:16th Int. Symposium on Plasma Chemistry, Taormina, Italien, Juni 2003
HGF - Forschungsbereich:Energie
HGF - Programm:Rationelle Energieumwandlung (alt)
HGF - Programmthema:E BZ - Brennstoffzellen (alt)
DLR - Schwerpunkt:Energie
DLR - Forschungsgebiet:E BZ - Brennstoffzellen
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):NICHT SPEZIFIZIERT
Standort: Stuttgart
Institute & Einrichtungen:Institut für Technische Thermodynamik
Hinterlegt von: DLR-Beauftragter, elib
Hinterlegt am:16 Sep 2005
Letzte Änderung:06 Jan 2010 15:25

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