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Bouyer, E. und Müller, M. und Schiller, G. (2003) TPCVD of Si-[X-]C-N from Liquid Organometallic Precursors. 16th Int. Symposium on Plasma Chemistry, Taormina, Italien, Juni 2003.
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Offizielle URL: matthias.mueller@dlr.de
| elib-URL des Eintrags: | https://elib.dlr.de/2659/ | ||||||||||||||||
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| Dokumentart: | Konferenzbeitrag (Paper) | ||||||||||||||||
| Zusätzliche Informationen: | LIDO-Berichtsjahr=2003, | ||||||||||||||||
| Titel: | TPCVD of Si-[X-]C-N from Liquid Organometallic Precursors | ||||||||||||||||
| Autoren: |
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| Datum: | 2003 | ||||||||||||||||
| Open Access: | Nein | ||||||||||||||||
| Gold Open Access: | Nein | ||||||||||||||||
| In SCOPUS: | Nein | ||||||||||||||||
| In ISI Web of Science: | Nein | ||||||||||||||||
| Status: | veröffentlicht | ||||||||||||||||
| Stichwörter: | TPCVD, liquid precursor, rf plasma | ||||||||||||||||
| Veranstaltungstitel: | 16th Int. Symposium on Plasma Chemistry, Taormina, Italien, Juni 2003 | ||||||||||||||||
| HGF - Forschungsbereich: | Energie | ||||||||||||||||
| HGF - Programm: | Rationelle Energieumwandlung (alt) | ||||||||||||||||
| HGF - Programmthema: | E BZ - Brennstoffzellen (alt) | ||||||||||||||||
| DLR - Schwerpunkt: | Energie | ||||||||||||||||
| DLR - Forschungsgebiet: | E BZ - Brennstoffzellen | ||||||||||||||||
| DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | NICHT SPEZIFIZIERT | ||||||||||||||||
| Standort: | Stuttgart | ||||||||||||||||
| Institute & Einrichtungen: | Institut für Technische Thermodynamik | ||||||||||||||||
| Hinterlegt von: | DLR-Beauftragter, elib | ||||||||||||||||
| Hinterlegt am: | 16 Sep 2005 | ||||||||||||||||
| Letzte Änderung: | 06 Jan 2010 15:25 |
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