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Heberle, N. und Heinze, J. und Meier, U. und Kohse-Höinghaus, K. (1993) Hochskalierung des Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung. DLR-Interner Bericht. Abschlußbericht im Rahmen des BMFT-Verbundprojekts 13 N586X, "Gasphasendiagnostik".
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| elib-URL des Eintrags: | https://elib.dlr.de/26514/ | ||||||||||||||||||||
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| Dokumentart: | Berichtsreihe (DLR-Interner Bericht) | ||||||||||||||||||||
| Zusätzliche Informationen: | LIDO-Berichtsjahr=1993, | ||||||||||||||||||||
| Titel: | Hochskalierung des Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung | ||||||||||||||||||||
| Autoren: |
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| Datum: | 1993 | ||||||||||||||||||||
| Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||
| Status: | veröffentlicht | ||||||||||||||||||||
| HGF - Forschungsbereich: | Energie | ||||||||||||||||||||
| HGF - Programm: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| HGF - Programmthema: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| DLR - Schwerpunkt: | Energie | ||||||||||||||||||||
| DLR - Forschungsgebiet: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | NICHT SPEZIFIZIERT | ||||||||||||||||||||
| Standort: | Stuttgart | ||||||||||||||||||||
| Institute & Einrichtungen: | Institut für Verbrennungstechnik > Institut für Physikalische Chemie der Verbrennung | ||||||||||||||||||||
| Hinterlegt von: | DLR-Beauftragter, elib | ||||||||||||||||||||
| Hinterlegt am: | 02 Apr 2006 | ||||||||||||||||||||
| Letzte Änderung: | 27 Apr 2009 06:14 |
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