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Staud, J. und Menschig, A. und Raiber, A. und Abeln, T. (1996) Laser-based fabrication of micro system components. In: Proc. Micro System Technologies '96 (1996) 772-774. VDE-Verlag GmbH, Berlin und Offenbach. 5th International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, 17-19 September 1996.
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| elib-URL des Eintrags: | https://elib.dlr.de/25562/ | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag (Paper) | ||||||||||||||||||||
| Zusätzliche Informationen: | institution=H. Reichl, A. Heuberger (Ed.), LIDO-Berichtsjahr=1996, | ||||||||||||||||||||
| Titel: | Laser-based fabrication of micro system components. | ||||||||||||||||||||
| Autoren: |
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| Datum: | 1996 | ||||||||||||||||||||
| Erschienen in: | Proc. Micro System Technologies '96 (1996) 772-774 | ||||||||||||||||||||
| Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||
| Gold Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||
| In SCOPUS: | Nein | ||||||||||||||||||||
| In ISI Web of Science: | Nein | ||||||||||||||||||||
| Verlag: | VDE-Verlag GmbH, Berlin und Offenbach | ||||||||||||||||||||
| Status: | veröffentlicht | ||||||||||||||||||||
| Stichwörter: | Laser tools, micro components | ||||||||||||||||||||
| Veranstaltungstitel: | 5th International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, 17-19 September 1996 | ||||||||||||||||||||
| HGF - Forschungsbereich: | NICHT SPEZIFIZIERT | ||||||||||||||||||||
| HGF - Programm: | Luftfahrt | ||||||||||||||||||||
| HGF - Programmthema: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| DLR - Schwerpunkt: | NICHT SPEZIFIZIERT | ||||||||||||||||||||
| DLR - Forschungsgebiet: | L - keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | L - Laserforschung und -technologie (alt) | ||||||||||||||||||||
| Standort: | Stuttgart | ||||||||||||||||||||
| Institute & Einrichtungen: | Institut für Technische Physik | ||||||||||||||||||||
| Hinterlegt von: | DLR-Beauftragter, elib | ||||||||||||||||||||
| Hinterlegt am: | 02 Apr 2006 | ||||||||||||||||||||
| Letzte Änderung: | 27 Apr 2009 05:52 |
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