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Bouyer, E. und Müller, M. und Schiller, G. und Henne, R. (1999) Conversion of silanes into SiC by RF plasma technology. In: Conference Proceedings UTSC 99, Seiten 853-858. DVS-Verlag GmbH, Düsseldorf. UTSC (United Thermal Spray Conference) 99 - Coating in Practice, Düsseldorf, 17-19 March 1999. ISBN 3-87155-653-X.
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| elib-URL des Eintrags: | https://elib.dlr.de/2380/ | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag (Paper) | ||||||||||||||||||||
| Zusätzliche Informationen: | LIDO-Berichtsjahr=2000, | ||||||||||||||||||||
| Titel: | Conversion of silanes into SiC by RF plasma technology | ||||||||||||||||||||
| Autoren: |
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| Datum: | 1999 | ||||||||||||||||||||
| Erschienen in: | Conference Proceedings UTSC 99 | ||||||||||||||||||||
| Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||
| Gold Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||
| In SCOPUS: | Nein | ||||||||||||||||||||
| In ISI Web of Science: | Nein | ||||||||||||||||||||
| Seitenbereich: | Seiten 853-858 | ||||||||||||||||||||
| Herausgeber: |
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| Verlag: | DVS-Verlag GmbH, Düsseldorf | ||||||||||||||||||||
| ISBN: | 3-87155-653-X | ||||||||||||||||||||
| Status: | veröffentlicht | ||||||||||||||||||||
| Veranstaltungstitel: | UTSC (United Thermal Spray Conference) 99 - Coating in Practice, Düsseldorf, 17-19 March 1999 | ||||||||||||||||||||
| HGF - Forschungsbereich: | Energie | ||||||||||||||||||||
| HGF - Programm: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| HGF - Programmthema: | E - keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| DLR - Schwerpunkt: | Energie | ||||||||||||||||||||
| DLR - Forschungsgebiet: | E - keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | NICHT SPEZIFIZIERT | ||||||||||||||||||||
| Standort: | Stuttgart | ||||||||||||||||||||
| Institute & Einrichtungen: | Institut für Technische Thermodynamik | ||||||||||||||||||||
| Hinterlegt von: | DLR-Beauftragter, elib | ||||||||||||||||||||
| Hinterlegt am: | 16 Sep 2005 | ||||||||||||||||||||
| Letzte Änderung: | 06 Jan 2010 15:03 |
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