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Velthaus, Verena und Buchheim, Jakob (2024) Outgassing and Leak Rates of Bonding Technologies for Quantum Systems. In: 37th International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2024, Seiten 1-2. 37th International Vacuum Nanaelectronics Conference (IVNC), 2024-07-15 - 2024-07-19, Brno, Tschechien. doi: 10.1109/IVNC63480.2024.10652366. ISBN 9798350379754.
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- Nur DLR-intern zugänglich
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Offizielle URL: https://dx.doi.org/10.1109/IVNC63480.2024.10652366
Kurzfassung
Miniaturization is the key parameter to bring quantum systems to commercialization. For sealing and characterization of miniaturized ultra-high vacuum cells for quantum systems, a new ultra-high vacuum system was developed. With the new setup we investigated different chip bonding methods and measured their outgassing and leak rates.
| elib-URL des Eintrags: | https://elib.dlr.de/213735/ | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag (Poster) | ||||||||||||
| Titel: | Outgassing and Leak Rates of Bonding Technologies for Quantum Systems | ||||||||||||
| Autoren: |
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| Datum: | Juli 2024 | ||||||||||||
| Erschienen in: | 37th International Vacuum Nanoelectronics Conference, IVNC 2024 | ||||||||||||
| Referierte Publikation: | Nein | ||||||||||||
| Open Access: | Nein | ||||||||||||
| Gold Open Access: | Nein | ||||||||||||
| In SCOPUS: | Ja | ||||||||||||
| In ISI Web of Science: | Nein | ||||||||||||
| DOI: | 10.1109/IVNC63480.2024.10652366 | ||||||||||||
| Seitenbereich: | Seiten 1-2 | ||||||||||||
| ISBN: | 9798350379754 | ||||||||||||
| Status: | veröffentlicht | ||||||||||||
| Stichwörter: | Anodic Bonding, Outgassing, Leak rate, UHV, Quantum systems | ||||||||||||
| Veranstaltungstitel: | 37th International Vacuum Nanaelectronics Conference (IVNC) | ||||||||||||
| Veranstaltungsort: | Brno, Tschechien | ||||||||||||
| Veranstaltungsart: | internationale Konferenz | ||||||||||||
| Veranstaltungsbeginn: | 15 Juli 2024 | ||||||||||||
| Veranstaltungsende: | 19 Juli 2024 | ||||||||||||
| HGF - Forschungsbereich: | Luftfahrt, Raumfahrt und Verkehr | ||||||||||||
| HGF - Programm: | Raumfahrt | ||||||||||||
| HGF - Programmthema: | Kommunikation, Navigation, Quantentechnologien | ||||||||||||
| DLR - Schwerpunkt: | Raumfahrt | ||||||||||||
| DLR - Forschungsgebiet: | R KNQ - Kommunikation, Navigation, Quantentechnologie | ||||||||||||
| DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | R - Integrationsplattform für die Miniaturisierung von quantenoptischen Systemen | ||||||||||||
| Standort: | Ulm | ||||||||||||
| Institute & Einrichtungen: | Institut für Quantentechnologien > Integration von Mikro- und Nanosystemen | ||||||||||||
| Hinterlegt von: | Sopcic, Claudia | ||||||||||||
| Hinterlegt am: | 16 Apr 2025 12:13 | ||||||||||||
| Letzte Änderung: | 29 Aug 2025 10:57 |
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