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Bähnisch, R. und Groß, W. und Menschig, A. (2000) Single-shot, high repetition rate metallic pattern transfer. Microelectronic Engineering, 50, Seiten 541-546.
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| elib-URL des Eintrags: | https://elib.dlr.de/2072/ | ||||||||||||||||
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| Dokumentart: | Zeitschriftenbeitrag | ||||||||||||||||
| Zusätzliche Informationen: | LIDO-Berichtsjahr=2000, | ||||||||||||||||
| Titel: | Single-shot, high repetition rate metallic pattern transfer | ||||||||||||||||
| Autoren: |
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| Datum: | 2000 | ||||||||||||||||
| Erschienen in: | Microelectronic Engineering | ||||||||||||||||
| Referierte Publikation: | Ja | ||||||||||||||||
| Open Access: | Nein | ||||||||||||||||
| Gold Open Access: | Nein | ||||||||||||||||
| In SCOPUS: | Nein | ||||||||||||||||
| In ISI Web of Science: | Ja | ||||||||||||||||
| Band: | 50 | ||||||||||||||||
| Seitenbereich: | Seiten 541-546 | ||||||||||||||||
| Status: | veröffentlicht | ||||||||||||||||
| HGF - Forschungsbereich: | Energie | ||||||||||||||||
| HGF - Programm: | Luftfahrt | ||||||||||||||||
| HGF - Programmthema: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||
| DLR - Schwerpunkt: | Energie | ||||||||||||||||
| DLR - Forschungsgebiet: | L - keine Zuordnung | ||||||||||||||||
| DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | L - Laserforschung und -technologie (alt) | ||||||||||||||||
| Standort: | Stuttgart | ||||||||||||||||
| Institute & Einrichtungen: | Institut für Technische Physik | ||||||||||||||||
| Hinterlegt von: | DLR-Beauftragter, elib | ||||||||||||||||
| Hinterlegt am: | 16 Sep 2005 | ||||||||||||||||
| Letzte Änderung: | 06 Jan 2010 14:39 |
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