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Brauch, U. and Colletto, C. and Höfflinger, B. and Hoffmann, T. and Menschig, A. and Opower, H. and Scharl, S. and Schomburg, C. and Springer, R. (1999) Highly-Parallel Laser Lithography. In: precision engineering-nanotechnology: Proc. of the 1st International euspen Conf. Berichte aus der Fertigungstechnik, Vol.1. Shaker Verlag, Aachen. ISBN 3-8265-6085-X.
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| Item URL in elib: | https://elib.dlr.de/2069/ | ||||||||||||||||||||||||||||||
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| Document Type: | Contribution to a Collection | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Additional Information: | LIDO-Berichtsjahr=1999, | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Title: | Highly-Parallel Laser Lithography | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Authors: |
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| Date: | 1999 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Journal or Publication Title: | precision engineering-nanotechnology: Proc. of the 1st International euspen Conf. | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Refereed publication: | Yes | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Open Access: | No | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Gold Open Access: | No | ||||||||||||||||||||||||||||||
| In SCOPUS: | No | ||||||||||||||||||||||||||||||
| In ISI Web of Science: | No | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Volume: | Vol.1 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Editors: |
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| Publisher: | Shaker Verlag, Aachen | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Series Name: | Berichte aus der Fertigungstechnik | ||||||||||||||||||||||||||||||
| ISBN: | 3-8265-6085-X | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Status: | Published | ||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Research field: | Energy | ||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Program: | Aeronautics | ||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Program Themes: | other | ||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Research area: | Energy | ||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Program: | L - no assignment | ||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Research theme (Project): | L - Laser Research and Technology (old) | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Location: | Stuttgart | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Institutes and Institutions: | Institute of Technical Physics | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Deposited By: | DLR-Beauftragter, elib | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Deposited On: | 16 Sep 2005 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Last Modified: | 06 Jan 2010 14:38 |
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