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Zhao, J.-X. und Hüttner, B. und Menschig, A. (1999) Micromachining with Ultrashort Laser Pulses. In: Laser Applications in Microelectronic and Optroelectronic Manufacturing IV, Vol. 3618, Seiten 114-121. SPIE Bellingham, WA, USA. Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV, San Jose, CA, USA, Jan 25-27, 1999. ISBN 0-8194-3088-9
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| Dokumentart: | Konferenzbeitrag (Paper) | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Zusätzliche Informationen: | LIDO-Berichtsjahr=1999, | ||||||||||||
| Titel: | Micromachining with Ultrashort Laser Pulses | ||||||||||||
| Autoren: |
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| Datum: | 1999 | ||||||||||||
| Erschienen in: | Laser Applications in Microelectronic and Optroelectronic Manufacturing IV | ||||||||||||
| In Open Access: | Nein | ||||||||||||
| In SCOPUS: | Nein | ||||||||||||
| In ISI Web of Science: | Nein | ||||||||||||
| Band: | Vol. 3618 | ||||||||||||
| Seitenbereich: | Seiten 114-121 | ||||||||||||
| Herausgeber: |
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| Verlag: | SPIE Bellingham, WA, USA | ||||||||||||
| ISBN: | 0-8194-3088-9 | ||||||||||||
| Status: | veröffentlicht | ||||||||||||
| Stichwörter: | Femtosecond laser, materials processing | ||||||||||||
| Veranstaltungstitel: | Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV, San Jose, CA, USA, Jan 25-27, 1999 | ||||||||||||
| Veranstalter : | SPIE | ||||||||||||
| HGF - Forschungsbereich: | Energie | ||||||||||||
| HGF - Programm: | Luftfahrt | ||||||||||||
| HGF - Programmthema: | keine Zuordnung | ||||||||||||
| DLR - Schwerpunkt: | Energie | ||||||||||||
| DLR - Forschungsgebiet: | L - keine Zuordnung | ||||||||||||
| DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | L - Laserforschung und -technologie (alt) | ||||||||||||
| Standort: | Stuttgart | ||||||||||||
| Institute & Einrichtungen: | Institut für Technische Physik | ||||||||||||
| Hinterlegt von: | DLR-Beauftragter, elib | ||||||||||||
| Hinterlegt am: | 16 Sep 2005 | ||||||||||||
| Letzte Änderung: | 06 Jan 2010 14:37 |
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