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Micromachining with Ultrashort Laser Pulses

Zhao, J.-X. und Hüttner, B. und Menschig, A. (1999) Micromachining with Ultrashort Laser Pulses. In: Laser Applications in Microelectronic and Optroelectronic Manufacturing IV, Vol. 3618, Seiten 114-121. SPIE Bellingham, WA, USA. Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV, San Jose, CA, USA, Jan 25-27, 1999. ISBN 0-8194-3088-9.

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elib-URL des Eintrags:https://elib.dlr.de/2053/
Dokumentart:Konferenzbeitrag (Paper)
Zusätzliche Informationen: LIDO-Berichtsjahr=1999,
Titel:Micromachining with Ultrashort Laser Pulses
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID-iDORCID Put Code
Zhao, J.-X.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Hüttner, B.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Menschig, A.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:1999
Erschienen in:Laser Applications in Microelectronic and Optroelectronic Manufacturing IV
Open Access:Nein
Gold Open Access:Nein
In SCOPUS:Nein
In ISI Web of Science:Nein
Band:Vol. 3618
Seitenbereich:Seiten 114-121
Herausgeber:
HerausgeberInstitution und/oder E-Mail-Adresse der HerausgeberHerausgeber-ORCID-iDORCID Put Code
Dubowski, J.J.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Helvajian, H.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Kreutz, E.W.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Sugioka, K.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Verlag:SPIE Bellingham, WA, USA
ISBN:0-8194-3088-9
Status:veröffentlicht
Stichwörter:Femtosecond laser, materials processing
Veranstaltungstitel:Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV, San Jose, CA, USA, Jan 25-27, 1999
Veranstalter :SPIE
HGF - Forschungsbereich:Energie
HGF - Programm:Luftfahrt
HGF - Programmthema:keine Zuordnung
DLR - Schwerpunkt:Energie
DLR - Forschungsgebiet:L - keine Zuordnung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):L - Laserforschung und -technologie (alt)
Standort: Stuttgart
Institute & Einrichtungen:Institut für Technische Physik
Hinterlegt von: DLR-Beauftragter, elib
Hinterlegt am:16 Sep 2005
Letzte Änderung:06 Jan 2010 14:37

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