Zhao, J.-X. und Hüttner, B. und Menschig, A. (1999) Micromachining with Ultrashort Laser Pulses. In: Laser Applications in Microelectronic and Optroelectronic Manufacturing IV, Vol. 3618, Seiten 114-121. SPIE Bellingham, WA, USA. Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV, San Jose, CA, USA, Jan 25-27, 1999. ISBN 0-8194-3088-9.
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elib-URL des Eintrags: | https://elib.dlr.de/2053/ | ||||||||||||||||||||
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Dokumentart: | Konferenzbeitrag (Paper) | ||||||||||||||||||||
Zusätzliche Informationen: | LIDO-Berichtsjahr=1999, | ||||||||||||||||||||
Titel: | Micromachining with Ultrashort Laser Pulses | ||||||||||||||||||||
Autoren: |
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Datum: | 1999 | ||||||||||||||||||||
Erschienen in: | Laser Applications in Microelectronic and Optroelectronic Manufacturing IV | ||||||||||||||||||||
Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||
Gold Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||
In SCOPUS: | Nein | ||||||||||||||||||||
In ISI Web of Science: | Nein | ||||||||||||||||||||
Band: | Vol. 3618 | ||||||||||||||||||||
Seitenbereich: | Seiten 114-121 | ||||||||||||||||||||
Herausgeber: |
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Verlag: | SPIE Bellingham, WA, USA | ||||||||||||||||||||
ISBN: | 0-8194-3088-9 | ||||||||||||||||||||
Status: | veröffentlicht | ||||||||||||||||||||
Stichwörter: | Femtosecond laser, materials processing | ||||||||||||||||||||
Veranstaltungstitel: | Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV, San Jose, CA, USA, Jan 25-27, 1999 | ||||||||||||||||||||
Veranstalter : | SPIE | ||||||||||||||||||||
HGF - Forschungsbereich: | Energie | ||||||||||||||||||||
HGF - Programm: | Luftfahrt | ||||||||||||||||||||
HGF - Programmthema: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
DLR - Schwerpunkt: | Energie | ||||||||||||||||||||
DLR - Forschungsgebiet: | L - keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | L - Laserforschung und -technologie (alt) | ||||||||||||||||||||
Standort: | Stuttgart | ||||||||||||||||||||
Institute & Einrichtungen: | Institut für Technische Physik | ||||||||||||||||||||
Hinterlegt von: | DLR-Beauftragter, elib | ||||||||||||||||||||
Hinterlegt am: | 16 Sep 2005 | ||||||||||||||||||||
Letzte Änderung: | 06 Jan 2010 14:37 |
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