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Bähnisch, R. und Groß, W. und Menschig, A. (1999) Flexible design concept and fabrication technology for microsystems. In: precision engineering nanotechnology, Vol. 1, Seiten 506-509. Shaker Verlag, Aachen. 1st euspen conference, Bremen, 31 May - 04 June 1999. ISBN 3-8265-6085-X.
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| elib-URL des Eintrags: | https://elib.dlr.de/2052/ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| Dokumentart: | Konferenzbeitrag (Paper) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Zusätzliche Informationen: | LIDO-Berichtsjahr=1999, | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Titel: | Flexible design concept and fabrication technology for microsystems | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Autoren: |
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| Datum: | 1999 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Erschienen in: | precision engineering nanotechnology | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Gold Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| In SCOPUS: | Nein | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| In ISI Web of Science: | Nein | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Band: | Vol. 1 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Seitenbereich: | Seiten 506-509 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Herausgeber: |
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| Verlag: | Shaker Verlag, Aachen | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ISBN: | 3-8265-6085-X | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Status: | veröffentlicht | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Stichwörter: | Femtosecond laser, design concept | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Veranstaltungstitel: | 1st euspen conference, Bremen, 31 May - 04 June 1999 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Veranstalter : | European Society for Precision Engineering | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Forschungsbereich: | Energie | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Programm: | Luftfahrt | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Programmthema: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Schwerpunkt: | Energie | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Forschungsgebiet: | L - keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | L - Laserforschung und -technologie (alt) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Standort: | Stuttgart | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Institute & Einrichtungen: | Institut für Technische Physik | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Hinterlegt von: | DLR-Beauftragter, elib | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Hinterlegt am: | 16 Sep 2005 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Letzte Änderung: | 06 Jan 2010 14:37 |
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