Flexible design concept and fabrication technology for microsystems

Bähnisch, R. und Groß, W. und Menschig, A. (1999) Flexible design concept and fabrication technology for microsystems. In: precision engineering nanotechnology, Vol. 1, Seiten 506-509. Shaker Verlag, Aachen. 1st euspen conference, Bremen, 31 May - 04 June 1999. ISBN 3-8265-6085-X.

Dieses Archiv kann nicht den Volltext zur Verfügung stellen.

elib-URL des Eintrags:

https://elib.dlr.de/2052/

Dokumentart:

Konferenzbeitrag (Paper)

Zusätzliche Informationen:

LIDO-Berichtsjahr=1999,

Titel:

Flexible design concept and fabrication technology for microsystems

Autoren:

Autoren	Institution oder E-Mail-Adresse	Autoren-ORCID-iD	ORCID Put Code
Bähnisch, R.	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT
Groß, W.	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT
Menschig, A.	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT

Datum:

1999

Erschienen in:

precision engineering nanotechnology

Open Access:

Nein

Gold Open Access:

Nein

In SCOPUS:

Nein

In ISI Web of Science:

Nein

Band:

Vol. 1

Seitenbereich:

Seiten 506-509

Herausgeber:

Herausgeber	Institution und/oder E-Mail-Adresse der Herausgeber	Herausgeber-ORCID-iD	ORCID Put Code
McKeown, P.	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT
Corbett, J.	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT
Bonis, M.	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT
Sartori, S.	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT
Kunzmann, H.	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT
Wieck, M.	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT
Brinksmeier, E.	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT
Preuß, W.	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT
Riemer, O.	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT	NICHT SPEZIFIZIERT

Verlag:

Shaker Verlag, Aachen

ISBN:

3-8265-6085-X

Status:

veröffentlicht

Stichwörter:

Femtosecond laser, design concept

Veranstaltungstitel:

1st euspen conference, Bremen, 31 May - 04 June 1999

Veranstalter :

European Society for Precision Engineering

HGF - Forschungsbereich:

Energie

HGF - Programm:

Luftfahrt

HGF - Programmthema:

keine Zuordnung

DLR - Schwerpunkt:

Energie

DLR - Forschungsgebiet:

L - keine Zuordnung

DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):

L - Laserforschung und -technologie (alt)

Standort:

Stuttgart

Institute & Einrichtungen:

Institut für Technische Physik

Hinterlegt von:

DLR-Beauftragter, elib

Hinterlegt am:

16 Sep 2005

Letzte Änderung:

06 Jan 2010 14:37

Nur für Mitarbeiter des Archivs: Kontrollseite des Eintrags