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Bähnisch, R. and Groß, W. and Staud, J. and Menschig, A. (1999) Femtosecond laser-based technology for fast development of micromechanical devices. Sensors and Actuators, A 74, pp. 31-34.
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| Item URL in elib: | https://elib.dlr.de/2051/ | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Document Type: | Article | ||||||||||||||||||||
| Additional Information: | LIDO-Berichtsjahr=1999, | ||||||||||||||||||||
| Title: | Femtosecond laser-based technology for fast development of micromechanical devices | ||||||||||||||||||||
| Authors: |
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| Date: | 1999 | ||||||||||||||||||||
| Journal or Publication Title: | Sensors and Actuators | ||||||||||||||||||||
| Refereed publication: | No | ||||||||||||||||||||
| Open Access: | No | ||||||||||||||||||||
| Gold Open Access: | No | ||||||||||||||||||||
| In SCOPUS: | No | ||||||||||||||||||||
| In ISI Web of Science: | No | ||||||||||||||||||||
| Volume: | A 74 | ||||||||||||||||||||
| Page Range: | pp. 31-34 | ||||||||||||||||||||
| Status: | Published | ||||||||||||||||||||
| Keywords: | Process technology, micromachining, Femtosecond laser, design concept, micromechanical device, micromanipulators | ||||||||||||||||||||
| HGF - Research field: | Energy | ||||||||||||||||||||
| HGF - Program: | Aeronautics | ||||||||||||||||||||
| HGF - Program Themes: | other | ||||||||||||||||||||
| DLR - Research area: | Energy | ||||||||||||||||||||
| DLR - Program: | L - no assignment | ||||||||||||||||||||
| DLR - Research theme (Project): | L - Laser Research and Technology (old) | ||||||||||||||||||||
| Location: | Stuttgart | ||||||||||||||||||||
| Institutes and Institutions: | Institute of Technical Physics | ||||||||||||||||||||
| Deposited By: | DLR-Beauftragter, elib | ||||||||||||||||||||
| Deposited On: | 16 Sep 2005 | ||||||||||||||||||||
| Last Modified: | 06 Jan 2010 14:37 |
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