Bajaj, Philipp (2022) Optimization of the Drop-Casting Method for the Development of Reproducible TiO2 Layers for Gas Sensing. Master's, Hochschule Bonn-Rhein-Sieg.
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Abstract
Innerhalb seiner Masterarbeit untersuchte Philipp Bajaj Optimierungsmöglichkeiten für die reproduzierbare Herstellung von TiO2-Beschichtungen auf Sensorsubstraten für die Halbleiter-Gassensorik mittels Drop-Casting. Das Ergebnis der Arbeit ist, dass beheizen der Substrate, Ultraschallunterstützung und hohe Precursorkonzentrationen die Homogenität der Schichten deutlich verbessern können. Des weiteren wurde das Drop-Casting-Verfahren manuell und halbautomatisiert durchgeführt, um auch hier einen Vergleich der Reproduzierbarkeit zu ermöglichen. Es zeigte sich, dass die halbautomatisierte Durchführung weitere Optimierung benötigt, jedoch grundsätzlich gleichmäßigere Ergebnisse erzielt.
Item URL in elib: | https://elib.dlr.de/194409/ | ||||||||
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Document Type: | Thesis (Master's) | ||||||||
Title: | Optimization of the Drop-Casting Method for the Development of Reproducible TiO2 Layers for Gas Sensing | ||||||||
Authors: |
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Date: | December 2022 | ||||||||
Refereed publication: | No | ||||||||
Open Access: | No | ||||||||
Status: | Published | ||||||||
Keywords: | Halbleiter, Gassensor, Beschichtung, Automatisierung | ||||||||
Institution: | Hochschule Bonn-Rhein-Sieg | ||||||||
Department: | Angewandte Naturwissenschaften | ||||||||
HGF - Research field: | other | ||||||||
HGF - Program: | other | ||||||||
HGF - Program Themes: | other | ||||||||
DLR - Research area: | no assignment | ||||||||
DLR - Program: | no assignment | ||||||||
DLR - Research theme (Project): | no assignment | ||||||||
Location: | Rhein-Sieg-Kreis | ||||||||
Institutes and Institutions: | Institute for the Protection of Terrestrial Infrastructures > Detection Systems Institute for the Protection of Terrestrial Infrastructures | ||||||||
Deposited By: | Weyrauch, Ingo | ||||||||
Deposited On: | 28 Mar 2023 11:45 | ||||||||
Last Modified: | 28 Mar 2023 11:45 |
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