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Optimization of the Drop-Casting Method for the Development of Reproducible TiO2 Layers for Gas Sensing

Bajaj, Philipp (2022) Optimization of the Drop-Casting Method for the Development of Reproducible TiO2 Layers for Gas Sensing. Masterarbeit, Hochschule Bonn-Rhein-Sieg.

[img] PDF - Nur DLR-intern zugänglich
5MB

Kurzfassung

Innerhalb seiner Masterarbeit untersuchte Philipp Bajaj Optimierungsmöglichkeiten für die reproduzierbare Herstellung von TiO2-Beschichtungen auf Sensorsubstraten für die Halbleiter-Gassensorik mittels Drop-Casting. Das Ergebnis der Arbeit ist, dass beheizen der Substrate, Ultraschallunterstützung und hohe Precursorkonzentrationen die Homogenität der Schichten deutlich verbessern können. Des weiteren wurde das Drop-Casting-Verfahren manuell und halbautomatisiert durchgeführt, um auch hier einen Vergleich der Reproduzierbarkeit zu ermöglichen. Es zeigte sich, dass die halbautomatisierte Durchführung weitere Optimierung benötigt, jedoch grundsätzlich gleichmäßigere Ergebnisse erzielt.

elib-URL des Eintrags:https://elib.dlr.de/194409/
Dokumentart:Hochschulschrift (Masterarbeit)
Titel:Optimization of the Drop-Casting Method for the Development of Reproducible TiO2 Layers for Gas Sensing
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID-iDORCID Put Code
Bajaj, PhilippNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:Dezember 2022
Referierte Publikation:Nein
Open Access:Nein
Status:veröffentlicht
Stichwörter:Halbleiter, Gassensor, Beschichtung, Automatisierung
Institution:Hochschule Bonn-Rhein-Sieg
Abteilung:Angewandte Naturwissenschaften
HGF - Forschungsbereich:keine Zuordnung
HGF - Programm:keine Zuordnung
HGF - Programmthema:keine Zuordnung
DLR - Schwerpunkt:keine Zuordnung
DLR - Forschungsgebiet:keine Zuordnung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):keine Zuordnung
Standort: Rhein-Sieg-Kreis
Institute & Einrichtungen:Institut für den Schutz terrestrischer Infrastrukturen > Detektionssysteme
Institut für den Schutz terrestrischer Infrastrukturen
Hinterlegt von: Weyrauch, Ingo
Hinterlegt am:28 Mär 2023 11:45
Letzte Änderung:28 Mär 2023 11:45

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