Optimization of the Drop-Casting Method for the Development of Reproducible TiO2 Layers for Gas Sensing

Kurzfassung

Innerhalb seiner Masterarbeit untersuchte Philipp Bajaj Optimierungsmöglichkeiten für die reproduzierbare Herstellung von TiO2-Beschichtungen auf Sensorsubstraten für die Halbleiter-Gassensorik mittels Drop-Casting. Das Ergebnis der Arbeit ist, dass beheizen der Substrate, Ultraschallunterstützung und hohe Precursorkonzentrationen die Homogenität der Schichten deutlich verbessern können. Des weiteren wurde das Drop-Casting-Verfahren manuell und halbautomatisiert durchgeführt, um auch hier einen Vergleich der Reproduzierbarkeit zu ermöglichen. Es zeigte sich, dass die halbautomatisierte Durchführung weitere Optimierung benötigt, jedoch grundsätzlich gleichmäßigere Ergebnisse erzielt.