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Pavlov, Sergey and Astrov, Yu. A. and Portsel, L. M. and Shuman, V. B. and Lodygin, A. N. and Abrosimov, N. V. and Hübers, Heinz-Wilhelm (2022) Shallow donor complexes formed by high temperature diffusion of magnesium in silicon. 19th Conference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology, 2022-09-10 - 2022-09-16, Mondsee, Österreich. (Unpublished)
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171kB |
| Item URL in elib: | https://elib.dlr.de/190360/ | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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| Document Type: | Conference or Workshop Item (Speech) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Title: | Shallow donor complexes formed by high temperature diffusion of magnesium in silicon | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Authors: |
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| Date: | 2022 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Refereed publication: | Yes | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Open Access: | Yes | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Gold Open Access: | No | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| In SCOPUS: | No | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| In ISI Web of Science: | No | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Status: | Unpublished | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Keywords: | silicon technology, diffusion doping | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Event Title: | 19th Conference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Event Location: | Mondsee, Österreich | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Event Type: | international Conference | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Event Start Date: | 10 September 2022 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Event End Date: | 16 September 2022 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Organizer: | Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik, Johannes Kepler University Linz | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Research field: | Aeronautics, Space and Transport | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Program: | Space | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Program Themes: | Space System Technology | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Research area: | Raumfahrt | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Program: | R SY - Space System Technology | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Research theme (Project): | R - Detectors for optical instruments | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Location: | Berlin-Adlershof | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Institutes and Institutions: | Institute of Optical Sensor Systems > Terahertz and Laser Spectroscopy | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Deposited By: | Pavlov, Dr. Sergey | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Deposited On: | 21 Nov 2022 12:50 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Last Modified: | 24 Apr 2024 20:51 |
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