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Pavlov, Sergey und Astrov, Yu. A. und Portsel, L. M. und Shuman, V. B. und Lodygin, A. N. und Abrosimov, N. V. und Hübers, Heinz-Wilhelm (2022) Shallow donor complexes formed by high temperature diffusion of magnesium in silicon. 19th Conference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology, 2022-09-10 - 2022-09-16, Mondsee, Österreich. (nicht veröffentlicht)
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| elib-URL des Eintrags: | https://elib.dlr.de/190360/ | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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| Dokumentart: | Konferenzbeitrag (Vortrag) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Titel: | Shallow donor complexes formed by high temperature diffusion of magnesium in silicon | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Autoren: |
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| Datum: | 2022 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Referierte Publikation: | Ja | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Open Access: | Ja | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Gold Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| In SCOPUS: | Nein | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| In ISI Web of Science: | Nein | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Status: | nicht veröffentlicht | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Stichwörter: | silicon technology, diffusion doping | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Veranstaltungstitel: | 19th Conference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Veranstaltungsort: | Mondsee, Österreich | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Veranstaltungsart: | internationale Konferenz | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Veranstaltungsbeginn: | 10 September 2022 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Veranstaltungsende: | 16 September 2022 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Veranstalter : | Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik, Johannes Kepler University Linz | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Forschungsbereich: | Luftfahrt, Raumfahrt und Verkehr | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Programm: | Raumfahrt | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Programmthema: | Technik für Raumfahrtsysteme | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Schwerpunkt: | Raumfahrt | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Forschungsgebiet: | R SY - Technik für Raumfahrtsysteme | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | R - Detektoren für optische Instrumente | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Standort: | Berlin-Adlershof | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Institute & Einrichtungen: | Institut für Optische Sensorsysteme > Terahertz- und Laserspektroskopie | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Hinterlegt von: | Pavlov, Dr. Sergey | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Hinterlegt am: | 21 Nov 2022 12:50 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Letzte Änderung: | 24 Apr 2024 20:51 |
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