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In-situ Sample Preparation of Oxidizing and Contaminating Samples for High Quality EDS and WDS Quantification Using FIB-SEM

Kreps, Frederic und Duparchy, Amandine und de Boor, Johannes und Kelm, Klemens (2022) In-situ Sample Preparation of Oxidizing and Contaminating Samples for High Quality EDS and WDS Quantification Using FIB-SEM. 5th EuFN Workshop, 31. Aug. - 02. Sep. 2022, Hamburg, Deutschland.

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Kurzfassung

Energy dispersive and wavelength dispersive X-ray spectroscopy (EDS and WDS) are very important tools in materials research to obtain information about the chemical composition of a sample. A planar and clean surface within a homogeneous material is essential to achieve a proper quantitative analysis with those methods. Often, surfaces tend to contaminate or oxidize very fast under atmospheric conditions. Usually samples cannot be transferred to the microscope without exposure to these conditions. Electron microscopes themselves provide a high vacuum free of contamination. Surfaces prepared with a focused ion beam (FIB) are smooth and sufficiently free of contamination, but are not perpendicular to the electron beam. In this work, an in situ preparation procedure was developed to improve the accuracy of quantitative analytical results using a FIB-SEM equipped with EDS and WDS. For this, the geometric obstacles had to be bypassed to achieve a FIB-prepared surface free of contamination or oxidization, perpendicular to the electron beam and suitable for the analysis.

elib-URL des Eintrags:https://elib.dlr.de/188208/
Dokumentart:Konferenzbeitrag (Poster)
Titel:In-situ Sample Preparation of Oxidizing and Contaminating Samples for High Quality EDS and WDS Quantification Using FIB-SEM
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID-iDORCID Put Code
Kreps, FredericFrederic.Kreps (at) dlr.deNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Duparchy, AmandineAmandine.Duparchy (at) dlr.deNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
de Boor, JohannesJohannes.deBoor (at) dlr.dehttps://orcid.org/0000-0002-1868-3167NICHT SPEZIFIZIERT
Kelm, KlemensKlemens.Kelm (at) dlr.deNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:August 2022
Referierte Publikation:Ja
Open Access:Ja
Gold Open Access:Nein
In SCOPUS:Nein
In ISI Web of Science:Nein
Status:veröffentlicht
Stichwörter:FIB, SEM, EDS, WDS, Spektrometrie, Elektronenmikroskopie
Veranstaltungstitel:5th EuFN Workshop
Veranstaltungsort:Hamburg, Deutschland
Veranstaltungsart:Workshop
Veranstaltungsdatum:31. Aug. - 02. Sep. 2022
Veranstalter :European Focused Ion Beam Network
HGF - Forschungsbereich:Luftfahrt, Raumfahrt und Verkehr
HGF - Programm:Verkehr
HGF - Programmthema:Straßenverkehr
DLR - Schwerpunkt:Verkehr
DLR - Forschungsgebiet:V ST Straßenverkehr
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):V - FFAE - Fahrzeugkonzepte, Fahrzeugstruktur, Antriebsstrang und Energiemanagement
Standort: Köln-Porz
Institute & Einrichtungen:Institut für Werkstoff-Forschung > Administrativ-Technische Betriebsleitung / Mikroanalytik und Metallographie
Institut für Werkstoff-Forschung > Thermoelektrische Materialien und Systeme
Hinterlegt von: Kreps, Frederic
Hinterlegt am:05 Dez 2022 09:19
Letzte Änderung:05 Dez 2022 09:19

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