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Astrov, Yu. A. and Shuman, V. B. and Portsel, L. M. and Lodygin, A. N. and Pavlov, Sergey and Abrosimov, N. V. and Hübers, Heinz-Wilhelm (2019) Decomposition of the solid solution of interstitial magnesium in silicon. 18th Conference Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology, 2019-09-22 - 2019-09-27, Zeuthen, Germany.
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| Item URL in elib: | https://elib.dlr.de/133612/ | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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| Document Type: | Conference or Workshop Item (Poster) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Title: | Decomposition of the solid solution of interstitial magnesium in silicon | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Authors: |
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| Date: | 24 September 2019 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Refereed publication: | Yes | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Open Access: | No | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Gold Open Access: | No | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| In SCOPUS: | No | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| In ISI Web of Science: | No | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Status: | Published | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Keywords: | Diffusion Doping, silicon | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Event Title: | 18th Conference Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Event Location: | Zeuthen, Germany | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Event Type: | international Conference | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Event Start Date: | 22 September 2019 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Event End Date: | 27 September 2019 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Research field: | Aeronautics, Space and Transport | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Program: | Space | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Program Themes: | Space System Technology | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Research area: | Raumfahrt | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Program: | R SY - Space System Technology | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Research theme (Project): | R - Vorhaben OptoRob (old) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Location: | Berlin-Adlershof | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Institutes and Institutions: | Institute of Optical Sensor Systems > Terahertz and Laser Spectroscopy | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Deposited By: | Pavlov, Dr. Sergey | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Deposited On: | 17 Jan 2020 09:25 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Last Modified: | 24 Apr 2024 20:36 |
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