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Decomposition of the solid solution of interstitial magnesium in silicon

Astrov, Yu. A. und Shuman, V. B. und Portsel, L. M. und Lodygin, A. N. und Pavlov, Sergey und Abrosimov, N. V. und Hübers, Heinz-Wilhelm (2019) Decomposition of the solid solution of interstitial magnesium in silicon. 18th Conference Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology, 2019-09-22 - 2019-09-27, Zeuthen, Germany.

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elib-URL des Eintrags:https://elib.dlr.de/133612/
Dokumentart:Konferenzbeitrag (Poster)
Titel:Decomposition of the solid solution of interstitial magnesium in silicon
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID-iDORCID Put Code
Astrov, Yu. A.Ioffe Physical-Technical Institute, St. Petersburg, RussiaNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Shuman, V. B.Ioffe Physical-Technical Institute, St. Petersburg, RussiaNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Portsel, L. M.Ioffe Physical-Technical Institute, St. Petersburg, RussiaNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Lodygin, A. N.Ioffe Physical-Technical Institute, St. Petersburg, RussiaNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Pavlov, SergeySergeij.Pavlov (at) dlr.deNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Abrosimov, N. V.Leibniz-Institut für Kristallzüchtung (IKZ), BerlinNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Hübers, Heinz-WilhelmHeinz-Wilhelm.Huebers (at) dlr.deNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:24 September 2019
Referierte Publikation:Ja
Open Access:Nein
Gold Open Access:Nein
In SCOPUS:Nein
In ISI Web of Science:Nein
Status:veröffentlicht
Stichwörter:Diffusion Doping, silicon
Veranstaltungstitel:18th Conference Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
Veranstaltungsort:Zeuthen, Germany
Veranstaltungsart:internationale Konferenz
Veranstaltungsbeginn:22 September 2019
Veranstaltungsende:27 September 2019
HGF - Forschungsbereich:Luftfahrt, Raumfahrt und Verkehr
HGF - Programm:Raumfahrt
HGF - Programmthema:Technik für Raumfahrtsysteme
DLR - Schwerpunkt:Raumfahrt
DLR - Forschungsgebiet:R SY - Technik für Raumfahrtsysteme
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):R - Vorhaben OptoRob (alt)
Standort: Berlin-Adlershof
Institute & Einrichtungen:Institut für Optische Sensorsysteme > Terahertz- und Laserspektroskopie
Hinterlegt von: Pavlov, Dr. Sergey
Hinterlegt am:17 Jan 2020 09:25
Letzte Änderung:24 Apr 2024 20:36

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