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Astrov, Yu. A. und Shuman, V. B. und Portsel, L. M. und Lodygin, A. N. und Pavlov, Sergey und Abrosimov, N. V. und Hübers, Heinz-Wilhelm (2019) Decomposition of the solid solution of interstitial magnesium in silicon. 18th Conference Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology, 2019-09-22 - 2019-09-27, Zeuthen, Germany.
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| elib-URL des Eintrags: | https://elib.dlr.de/133612/ | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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| Dokumentart: | Konferenzbeitrag (Poster) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Titel: | Decomposition of the solid solution of interstitial magnesium in silicon | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Autoren: |
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| Datum: | 24 September 2019 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Referierte Publikation: | Ja | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Gold Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| In SCOPUS: | Nein | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| In ISI Web of Science: | Nein | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Status: | veröffentlicht | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Stichwörter: | Diffusion Doping, silicon | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Veranstaltungstitel: | 18th Conference Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Veranstaltungsort: | Zeuthen, Germany | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Veranstaltungsart: | internationale Konferenz | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Veranstaltungsbeginn: | 22 September 2019 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Veranstaltungsende: | 27 September 2019 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Forschungsbereich: | Luftfahrt, Raumfahrt und Verkehr | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Programm: | Raumfahrt | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| HGF - Programmthema: | Technik für Raumfahrtsysteme | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Schwerpunkt: | Raumfahrt | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Forschungsgebiet: | R SY - Technik für Raumfahrtsysteme | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | R - Vorhaben OptoRob (alt) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Standort: | Berlin-Adlershof | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Institute & Einrichtungen: | Institut für Optische Sensorsysteme > Terahertz- und Laserspektroskopie | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Hinterlegt von: | Pavlov, Dr. Sergey | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Hinterlegt am: | 17 Jan 2020 09:25 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Letzte Änderung: | 24 Apr 2024 20:36 |
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