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Deutsche Patentanmeldung "Verfahren und System zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat"

Bartels, Nils and Schröder, Helmut and Allenspacher, Paul and Riede, Wolfgang (2019) Deutsche Patentanmeldung "Verfahren und System zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat". [Other] (Submitted)

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat, insbesondere zur Ausbildung eines optischen Bauelements, welche dreidimensionale Struktur aus Siliziumdioxid oder im Wesentlichen aus Siliziumdioxid ausgebildet wird. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein System zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat, insbesondere zur Ausbildung eines optischen Bauelements, welche dreidimensionale Struktur aus Siliziumdioxid oder im Wesentlichen aus Siliziumdioxid ausgebildet wird.

Item URL in elib:https://elib.dlr.de/132756/
Document Type:Other
Title:Deutsche Patentanmeldung "Verfahren und System zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat"
Authors:
AuthorsInstitution or Email of AuthorsAuthors ORCID iD
Bartels, NilsNils.Bartels (at) dlr.deUNSPECIFIED
Schröder, HelmutHelmut.Schroeder (at) dlr.deUNSPECIFIED
Allenspacher, PaulPaul.Allenspacher (at) dlr.deUNSPECIFIED
Riede, WolfgangWolfgang.Riede (at) dlr.deUNSPECIFIED
Date:19 October 2019
Journal or Publication Title:Deutsches Patent- und Markenamt
Refereed publication:No
Open Access:No
Gold Open Access:No
In SCOPUS:No
In ISI Web of Science:No
Status:Submitted
Keywords:Optikfertigung, Siliziumdioxid, Mikrolinse, Laser, Additive Fertigung, Gasphasenabscheidung
HGF - Research field:other
HGF - Program:other
HGF - Program Themes:other
DLR - Research area:no assignment
DLR - Program:no assignment
DLR - Research theme (Project):no assignment
Location: Stuttgart
Institutes and Institutions:Institute of Technical Physics > Active Optical Systems
Deposited By: Bartels, Nils
Deposited On:07 Jan 2020 16:40
Last Modified:07 Jan 2020 16:40

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