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Deutsche Patentanmeldung "Verfahren und System zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat"

Bartels, Nils und Schröder, Helmut und Allenspacher, Paul und Riede, Wolfgang (2019) Deutsche Patentanmeldung "Verfahren und System zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat". [sonstige Veröffentlichung] (eingereichter Beitrag)

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Kurzfassung

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat, insbesondere zur Ausbildung eines optischen Bauelements, welche dreidimensionale Struktur aus Siliziumdioxid oder im Wesentlichen aus Siliziumdioxid ausgebildet wird. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein System zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat, insbesondere zur Ausbildung eines optischen Bauelements, welche dreidimensionale Struktur aus Siliziumdioxid oder im Wesentlichen aus Siliziumdioxid ausgebildet wird.

elib-URL des Eintrags:https://elib.dlr.de/132756/
Dokumentart:sonstige Veröffentlichung
Titel:Deutsche Patentanmeldung "Verfahren und System zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat"
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID-iDORCID Put Code
Bartels, NilsNils.Bartels (at) dlr.deNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Schröder, HelmutHelmut.Schroeder (at) dlr.deNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Allenspacher, PaulPaul.Allenspacher (at) dlr.deNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Riede, WolfgangWolfgang.Riede (at) dlr.deNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:19 Oktober 2019
Erschienen in:Deutsches Patent- und Markenamt
Referierte Publikation:Nein
Open Access:Nein
Status:eingereichter Beitrag
Stichwörter:Optikfertigung, Siliziumdioxid, Mikrolinse, Laser, Additive Fertigung, Gasphasenabscheidung
HGF - Forschungsbereich:keine Zuordnung
HGF - Programm:keine Zuordnung
HGF - Programmthema:keine Zuordnung
DLR - Schwerpunkt:keine Zuordnung
DLR - Forschungsgebiet:keine Zuordnung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):keine Zuordnung
Standort: Stuttgart
Institute & Einrichtungen:Institut für Technische Physik > Aktive optische Systeme
Hinterlegt von: Bartels, Nils
Hinterlegt am:07 Jan 2020 16:40
Letzte Änderung:07 Jan 2020 16:40

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