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Bartels, Nils und Schröder, Helmut und Allenspacher, Paul und Riede, Wolfgang (2019) Deutsche Patentanmeldung "Verfahren und System zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat". [sonstige Veröffentlichung] (eingereichter Beitrag)
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Kurzfassung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat, insbesondere zur Ausbildung eines optischen Bauelements, welche dreidimensionale Struktur aus Siliziumdioxid oder im Wesentlichen aus Siliziumdioxid ausgebildet wird. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein System zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat, insbesondere zur Ausbildung eines optischen Bauelements, welche dreidimensionale Struktur aus Siliziumdioxid oder im Wesentlichen aus Siliziumdioxid ausgebildet wird.
| elib-URL des Eintrags: | https://elib.dlr.de/132756/ | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Dokumentart: | sonstige Veröffentlichung | ||||||||||||||||||||
| Titel: | Deutsche Patentanmeldung "Verfahren und System zum Herstellen einer dreidimensionalen Struktur auf einem Substrat" | ||||||||||||||||||||
| Autoren: |
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| Datum: | 19 Oktober 2019 | ||||||||||||||||||||
| Erschienen in: | Deutsches Patent- und Markenamt | ||||||||||||||||||||
| Referierte Publikation: | Nein | ||||||||||||||||||||
| Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||
| Status: | eingereichter Beitrag | ||||||||||||||||||||
| Stichwörter: | Optikfertigung, Siliziumdioxid, Mikrolinse, Laser, Additive Fertigung, Gasphasenabscheidung | ||||||||||||||||||||
| HGF - Forschungsbereich: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| HGF - Programm: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| HGF - Programmthema: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| DLR - Schwerpunkt: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| DLR - Forschungsgebiet: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| Standort: | Stuttgart | ||||||||||||||||||||
| Institute & Einrichtungen: | Institut für Technische Physik > Aktive optische Systeme | ||||||||||||||||||||
| Hinterlegt von: | Bartels, Nils | ||||||||||||||||||||
| Hinterlegt am: | 07 Jan 2020 16:40 | ||||||||||||||||||||
| Letzte Änderung: | 07 Jan 2020 16:40 |
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