elib
DLR-Header
DLR-Logo -> http://www.dlr.de
DLR Portal Home | Impressum | Kontakt | English
Schriftgröße: [-] Text [+]

Micromachining with Ultrashort Laser Pulses

Zhao, J.-X. und Hüttner, B. und Menschig, A. (1999) Micromachining with Ultrashort Laser Pulses. In: Laser Applications in Microelectronic and Optroelectronic Manufacturing IV, Vol. 3618, Seiten 114-121. SPIE Bellingham, WA, USA. Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV, San Jose, CA, USA, Jan 25-27, 1999. ISBN 0-8194-3088-9.

Dieses Archiv kann nicht den gesamten Text zur Verfügung stellen.


Dokumentart:Konferenzbeitrag (Paper)
Zusätzliche Informationen: LIDO-Berichtsjahr=1999,
Titel:Micromachining with Ultrashort Laser Pulses
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-Adresse der Autoren
Zhao, J.-X.NICHT SPEZIFIZIERT
Hüttner, B.NICHT SPEZIFIZIERT
Menschig, A.NICHT SPEZIFIZIERT
Datum:1999
Erschienen in:Laser Applications in Microelectronic and Optroelectronic Manufacturing IV
Band:Vol. 3618
Seitenbereich:Seiten 114-121
Herausgeber:
HerausgeberInstitution und/oder E-Mail-Adresse der Herausgeber
Dubowski, J.J.NICHT SPEZIFIZIERT
Helvajian, H.NICHT SPEZIFIZIERT
Kreutz, E.W.NICHT SPEZIFIZIERT
Sugioka, K.NICHT SPEZIFIZIERT
Verlag:SPIE Bellingham, WA, USA
ISBN:0-8194-3088-9
Status:veröffentlicht
Stichwörter:Femtosecond laser, materials processing
Veranstaltungstitel:Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV, San Jose, CA, USA, Jan 25-27, 1999
Veranstalter :SPIE
HGF - Forschungsbereich:Energie
HGF - Programm:Luftfahrt
HGF - Programmthema:keine Zuordnung
DLR - Schwerpunkt:Energie
DLR - Forschungsgebiet:L - keine Zuordnung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):L - Laserforschung und -technologie
Standort: Stuttgart
Institute & Einrichtungen:Institut für Technische Physik
Hinterlegt von: elib DLR-Beauftragter
Hinterlegt am:16 Sep 2005
Letzte Änderung:06 Jan 2010 14:37

Nur für Mitarbeiter des Archivs: Kontrollseite des Eintrags

Blättern
Suchen
Hilfe & Kontakt
Informationen
electronic library verwendet EPrints 3.3.12
Copyright © 2008-2013 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR). Alle Rechte vorbehalten.