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Zhao, J.-X. und Hüttner, B. und Menschig, A. (1999) Micromachining with Ultrashort Laser Pulses. In: Laser Applications in Microelectronic and Optroelectronic Manufacturing IV, Vol. 3618, Seiten 114-121. SPIE Bellingham, WA, USA. Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV, San Jose, CA, USA, Jan 25-27, 1999. ISBN 0-8194-3088-9.
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| elib-URL des Eintrags: | https://elib.dlr.de/2053/ | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag (Paper) | ||||||||||||||||||||
| Zusätzliche Informationen: | LIDO-Berichtsjahr=1999, | ||||||||||||||||||||
| Titel: | Micromachining with Ultrashort Laser Pulses | ||||||||||||||||||||
| Autoren: |
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| Datum: | 1999 | ||||||||||||||||||||
| Erschienen in: | Laser Applications in Microelectronic and Optroelectronic Manufacturing IV | ||||||||||||||||||||
| Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||
| Gold Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||
| In SCOPUS: | Nein | ||||||||||||||||||||
| In ISI Web of Science: | Nein | ||||||||||||||||||||
| Band: | Vol. 3618 | ||||||||||||||||||||
| Seitenbereich: | Seiten 114-121 | ||||||||||||||||||||
| Herausgeber: |
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| Verlag: | SPIE Bellingham, WA, USA | ||||||||||||||||||||
| ISBN: | 0-8194-3088-9 | ||||||||||||||||||||
| Status: | veröffentlicht | ||||||||||||||||||||
| Stichwörter: | Femtosecond laser, materials processing | ||||||||||||||||||||
| Veranstaltungstitel: | Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV, San Jose, CA, USA, Jan 25-27, 1999 | ||||||||||||||||||||
| Veranstalter : | SPIE | ||||||||||||||||||||
| HGF - Forschungsbereich: | Energie | ||||||||||||||||||||
| HGF - Programm: | Luftfahrt | ||||||||||||||||||||
| HGF - Programmthema: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| DLR - Schwerpunkt: | Energie | ||||||||||||||||||||
| DLR - Forschungsgebiet: | L - keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
| DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | L - Laserforschung und -technologie (alt) | ||||||||||||||||||||
| Standort: | Stuttgart | ||||||||||||||||||||
| Institute & Einrichtungen: | Institut für Technische Physik | ||||||||||||||||||||
| Hinterlegt von: | DLR-Beauftragter, elib | ||||||||||||||||||||
| Hinterlegt am: | 16 Sep 2005 | ||||||||||||||||||||
| Letzte Änderung: | 06 Jan 2010 14:37 |
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