elib
DLR-Header
DLR-Logo -> http://www.dlr.de
DLR Portal Home | Impressum | Datenschutz | Kontakt | English
Schriftgröße: [-] Text [+]

Software tools for profile analysis of multi-layered systems by using the Elastic Peak Electron Spectroscopy

Afanas'ev, Victor P. und Gryazev, Alexander S. und Kaplya, Pavel S. und Efremenko, Dmitry und Ridzel, Olga Yu. (2016) Software tools for profile analysis of multi-layered systems by using the Elastic Peak Electron Spectroscopy. In: 2016 14th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition (BALD), Seiten 34-37. Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE). Atomic Layer Deposition (BALD), 2016-10-02 - 2016-10-04, St.Petersburg, Russia. doi: 10.1109/BALD.2016.7886531. ISBN 978-5-9651-0997-5.

Dieses Archiv kann nicht den Volltext zur Verfügung stellen.

Offizielle URL: http://dx.doi.org/10.1109/BALD.2016.7886531

Kurzfassung

The new generation of spectrometers with high energy resolution can resolve elastic peaks of electrons reflected by atoms in solids. In this regard, there is an increasing interest in the applications of the so-called Elastic Peak Electron Spectroscopy (EPES) for measuring composition-versus-depth profiles since it is non-destructive and sensible to the presence of hydrogen in solids. This study presents numerical tools for quantitative interpretation of the EPES signal. They include modules for peak detecting, estimating the elastic peak intensities and retrieving composition-versus-depth profiles. The latter is based on the transport theory and invokes the straight line approximation (SLA). The examples of profile retrieval using the SLA are given. The accuracy of the proposed model is analyzed. Software Tools for Profile Analysis of Multi-Layered Systems by Using the Elastic Peak Electron Spectroscopy.

elib-URL des Eintrags:https://elib.dlr.de/111865/
Dokumentart:Konferenzbeitrag (Vortrag)
Titel:Software tools for profile analysis of multi-layered systems by using the Elastic Peak Electron Spectroscopy
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID-iDORCID Put Code
Afanas'ev, Victor P.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Gryazev, Alexander S.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Kaplya, Pavel S.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Efremenko, Dmitrydmitry.efremenko (at) dlr.deNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Ridzel, Olga Yu.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:2016
Erschienen in:2016 14th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition (BALD)
Referierte Publikation:Ja
Open Access:Nein
Gold Open Access:Nein
In SCOPUS:Nein
In ISI Web of Science:Nein
DOI:10.1109/BALD.2016.7886531
Seitenbereich:Seiten 34-37
Verlag:Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
ISBN:978-5-9651-0997-5
Status:veröffentlicht
Stichwörter:straight line approximation; electron spectroscopy
Veranstaltungstitel:Atomic Layer Deposition (BALD)
Veranstaltungsort:St.Petersburg, Russia
Veranstaltungsart:internationale Konferenz
Veranstaltungsbeginn:2 Oktober 2016
Veranstaltungsende:4 Oktober 2016
Veranstalter :IEEE Org.
HGF - Forschungsbereich:Luftfahrt, Raumfahrt und Verkehr
HGF - Programm:Raumfahrt
HGF - Programmthema:Erdbeobachtung
DLR - Schwerpunkt:Raumfahrt
DLR - Forschungsgebiet:R EO - Erdbeobachtung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):R - Vorhaben Spektrometrische Verfahren und Konzepte der Fernerkundung (alt)
Standort: Oberpfaffenhofen
Institute & Einrichtungen:Institut für Methodik der Fernerkundung > Atmosphärenprozessoren
Hinterlegt von: Efremenko, Dr Dmitry
Hinterlegt am:19 Apr 2017 10:53
Letzte Änderung:24 Apr 2024 20:16

Nur für Mitarbeiter des Archivs: Kontrollseite des Eintrags

Blättern
Suchen
Hilfe & Kontakt
Informationen
electronic library verwendet EPrints 3.3.12
Gestaltung Webseite und Datenbank: Copyright © Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR). Alle Rechte vorbehalten.