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Hochskalierung eines Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung

Heberle, N. und Heinze, J. und Meier, U.E. und Kohse-Höinghaus, K. (1993) Hochskalierung eines Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung. Projektbericht, DLR-Interner Bericht. Abschlußbericht zum BMBF-Verbundprojekt"Gasphasendiagnostik" (1993).

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elib-URL des Eintrags:https://elib.dlr.de/26587/
Dokumentart:Berichtsreihe (Projektbericht, DLR-Interner Bericht)
Zusätzliche Informationen: LIDO-Berichtsjahr=1993,
Titel:Hochskalierung eines Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID-iDORCID Put Code
Heberle, N.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Heinze, J.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Meier, U.E.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Kohse-Höinghaus, K.NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:1993
Open Access:Nein
Status:veröffentlicht
HGF - Forschungsbereich:Energie
HGF - Programm:keine Zuordnung
HGF - Programmthema:keine Zuordnung
DLR - Schwerpunkt:Energie
DLR - Forschungsgebiet:keine Zuordnung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):NICHT SPEZIFIZIERT
Standort: Stuttgart
Institute & Einrichtungen:Institut für Verbrennungstechnik > Institut für Physikalische Chemie der Verbrennung
Hinterlegt von: DLR-Beauftragter, elib
Hinterlegt am:02 Apr 2006
Letzte Änderung:27 Apr 2009 06:15

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