Heberle, N. und Heinze, J. und Meier, U.E. und Kohse-Höinghaus, K. (1993) Hochskalierung eines Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung. Projektbericht, DLR-Interner Bericht. Abschlußbericht zum BMBF-Verbundprojekt"Gasphasendiagnostik" (1993).
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elib-URL des Eintrags: | https://elib.dlr.de/26587/ | ||||||||||||||||||||
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Dokumentart: | Berichtsreihe (Projektbericht, DLR-Interner Bericht) | ||||||||||||||||||||
Zusätzliche Informationen: | LIDO-Berichtsjahr=1993, | ||||||||||||||||||||
Titel: | Hochskalierung eines Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung | ||||||||||||||||||||
Autoren: |
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Datum: | 1993 | ||||||||||||||||||||
Open Access: | Nein | ||||||||||||||||||||
Status: | veröffentlicht | ||||||||||||||||||||
HGF - Forschungsbereich: | Energie | ||||||||||||||||||||
HGF - Programm: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
HGF - Programmthema: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
DLR - Schwerpunkt: | Energie | ||||||||||||||||||||
DLR - Forschungsgebiet: | keine Zuordnung | ||||||||||||||||||||
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben): | NICHT SPEZIFIZIERT | ||||||||||||||||||||
Standort: | Stuttgart | ||||||||||||||||||||
Institute & Einrichtungen: | Institut für Verbrennungstechnik > Institut für Physikalische Chemie der Verbrennung | ||||||||||||||||||||
Hinterlegt von: | DLR-Beauftragter, elib | ||||||||||||||||||||
Hinterlegt am: | 02 Apr 2006 | ||||||||||||||||||||
Letzte Änderung: | 27 Apr 2009 06:15 |
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