Hochfrequenztechnische Betrachtung von Indium-Zinnoxidbeschichtungen auf Glasträgerstrubstraten

Kurzfassung

Diese Bachelorarbeit beschäftigt sich mit der hochfrequenztechnischen Untersuchung von Indium-Zinnoxid (ITO)-Beschichtungen auf Glasträgersubstraten. Im theoretischen Teil der Arbeit werden zunächst die Materialeigenschaften von ITO und die relevanten chemischen und elektrischen Parameter erläutert. ITO zeichnet sich durch eine Kombination aus hoher Transparenz im sichtbaren Spektrum bei gleichzeitig guter elektrischer Leitfähigkeit aus, wodurch es für optoelektronische Anwendungen besonders geeignet ist. Diese Eigenschaften werden durch Dotierung und andere Strukturverbesserungen weiter optimiert. Für die Untersuchung wurden Berechnungen und Simulationen durchgeführt, um die hochfrequenztechnischen Eigenschaften von ITO-beschichteten Glasträgersubstraten zu analysieren. Dabei wurden Streuparameter und andere relevante Größen bestimmt, um das Verhalten von Mikrostreifenleitungen zu bewerten. Nachfolgend wurden Mikrostreifenleitungsprototypen auf ITO-beschichteten Glasträgersubstraten mittels Laserablation gefertigt, um die Simulationsergebnisse zu validieren. In einem abschließenden Schritt wurden Verbesserungsansätze für künftige Prototypen erarbeitet, insbesondere durch Optimierung des Flächenwiderstands der ITO-Beschichtung