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Design dual-frequency piezoelectric MEMS microphones For wind tunnel testing

Wu, Lixiang und Chen, XuYuan und Ngo, Ha-Duong und Julliard, Emmanuel und Spehr, Carsten (2022) Design dual-frequency piezoelectric MEMS microphones For wind tunnel testing. In: AIAA SciTech 2022 Forum, Seiten 1-7. ARC. AIAA SCITECH 2022 Forum, 2022-01-03 - 2022-01-07, San Diego, CA, USA. doi: 10.2514/6.2022-1021. ISBN 978-162410631-6.

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Offizielle URL: https://doi.org/10.2514/6.2022-1021

Kurzfassung

The demand for aeroacoustic measurement microphones is surging in recent years as new rules on noise reduction and environmental compliance are getting tougher. However, state-of-the-art microphones including classical measurement microphones and micro-electromechanical systems (MEMS) microphones cannot fully meet the strict requirements for wind tunnel testing (WTT) in terms of form factor, acoustic performance, and product price. To break through the bottleneck, a new type of piezoelectric MEMS microphones with dual frequency bands was designed as key part of a dedicate WTT solution, which aims to capture the unsteady pressure fluctuations underneath the turbulent boundary layer and predict the cabin noise excitation. The finite element method (FEM) was applied to analyze and optimize the MEMS design at system level. The feasibility of the new MEMS design has been preliminarily verified by characterizing the mechanical and electrical properties of first batch of dual-frequency piezoelectric MEMS microphones. The acoustic characterization was conducted to evaluate the overall performance and the system-level FEM model was refined based on the measurement results.

elib-URL des Eintrags:https://elib.dlr.de/186119/
Dokumentart:Konferenzbeitrag (Vortrag)
Zusätzliche Informationen:AIAA 2022-1021 Session: Advanced Testing and Measurement Techniques
Titel:Design dual-frequency piezoelectric MEMS microphones For wind tunnel testing
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID-iDORCID Put Code
Wu, LixiangLixiang.Wu (at) silicon-austria.comNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Chen, XuYuanXuyuan.Chen (at) usn.noNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Ngo, Ha-DuongHa-Duong.Ngo (at) izm.fraunhofer.deNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Julliard, Emmanuelemmanuel.julliard (at) airbus.comNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Spehr, CarstenCarsten.Spehr (at) dlr.dehttps://orcid.org/0000-0002-2744-3675NICHT SPEZIFIZIERT
Datum:Januar 2022
Erschienen in:AIAA SciTech 2022 Forum
Referierte Publikation:Ja
Open Access:Nein
Gold Open Access:Nein
In SCOPUS:Ja
In ISI Web of Science:Nein
DOI:10.2514/6.2022-1021
Seitenbereich:Seiten 1-7
Herausgeber:
HerausgeberInstitution und/oder E-Mail-Adresse der HerausgeberHerausgeber-ORCID-iDORCID Put Code
NICHT SPEZIFIZIERTAIAANICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Verlag:ARC
ISBN:978-162410631-6
Status:veröffentlicht
Stichwörter:MEMS microphones, finite element method (FEM)
Veranstaltungstitel:AIAA SCITECH 2022 Forum
Veranstaltungsort:San Diego, CA, USA
Veranstaltungsart:internationale Konferenz
Veranstaltungsbeginn:3 Januar 2022
Veranstaltungsende:7 Januar 2022
Veranstalter :AIAA
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HGF - Programm:Luftfahrt
HGF - Programmthema:Effizientes Luftfahrzeug
DLR - Schwerpunkt:Luftfahrt
DLR - Forschungsgebiet:L EV - Effizientes Luftfahrzeug
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):L - Virtuelles Flugzeug und Validierung
Standort: Göttingen
Institute & Einrichtungen:Institut für Aerodynamik und Strömungstechnik > Experimentelle Verfahren, GO
Hinterlegt von: Micknaus, Ilka
Hinterlegt am:14 Apr 2022 12:15
Letzte Änderung:24 Apr 2024 20:47

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