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Novel Pressure Sensor for Aerospace Purposes

Beutel, T. und Leester-Schädel, M. und Wierach, Peter und Sinapius, Michael und Büttgenbach, S. (2010) Novel Pressure Sensor for Aerospace Purposes. Sensors and Transducers, Vol. 115 (Issue 4), Seiten 11-19. ISSN 1726-5479

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Kurzfassung

In this work, a novel silicon-based sensor for pressure and flow measurements is presented. To meet the special requirements of the aerospace industry a new piezoresistive pressure sensor with a flat surface has been developed, so that the flow is not affected by the sensor. To avoid bonding-wires on top of the sensor a special through-wafer connection is presented. By making other significant changes in the layout as well as in the micro fabrication process, a novel sensor has been created. It is robust enough to be laminated in fibre material, which opens new possibilities for measurements. With this sensor it is possible to characterize the condition of the flow near the separation point. This article describes the complete process from the development to the laminated sensor.

Dokumentart:Zeitschriftenbeitrag
Titel:Novel Pressure Sensor for Aerospace Purposes
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID
Beutel, T.TU BraunschweigNICHT SPEZIFIZIERT
Leester-Schädel, M.TU BraunschweigNICHT SPEZIFIZIERT
Wierach, PeterNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Sinapius, MichaelNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Büttgenbach, S.TU BraunschweigNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:April 2010
Erschienen in:Sensors and Transducers
Referierte Publikation:Ja
In Open Access:Ja
In SCOPUS:Ja
In ISI Web of Science:Nein
Band:Vol. 115
Seitenbereich:Seiten 11-19
ISSN:1726-5479
Status:veröffentlicht
Stichwörter:Piezoresistive pressure sensor for flow characterization, Silicon membrane, Micro fabrication, Through-wafer connection
HGF - Forschungsbereich:Luftfahrt, Raumfahrt und Verkehr
HGF - Programm:Luftfahrt
HGF - Programmthema:Drehflügler (alt)
DLR - Schwerpunkt:Luftfahrt
DLR - Forschungsgebiet:L RR - Drehflüglerforschung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):L - Der aktive Drehflügler (alt)
Standort: Braunschweig
Institute & Einrichtungen:Institut für Faserverbundleichtbau und Adaptronik
Hinterlegt von: Böhringer-Thelen, Isolde
Hinterlegt am:28 Mär 2012 08:38
Letzte Änderung:20 Apr 2017 05:02

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