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TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors

Il’in, K. und Rall, D. und Hofherr, M. und Siegel, M. und Semenov, Alexey und Hübers, H.-W. und Engel, A. und Schilling, A. (2010) TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors. In: Tagungsband, Seite 51. DLR. Kryo 2010, 2010-10-03 - 2010-10-05, Zeuthen, Brandenburg.

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Kurzfassung

Development of superconducting nanowire single-photon detectors (SNSPD) with a higher intrinsic detection efficiency, stronger absorption in a wider spectral range stimulates a study of thin films of different superconducting materials. The tantalum nitride TaN thin films are typically used as an insulator in multi-layer system for SIS device fabrication [1] or as cover layer to improve the hardness and chemical stability of any surfaces. At the same time there are only few and sometimes contradictory publications about superconductivity in thin films of TaN [1, 2]. We present results on fabrication and characterization of TaN thin films with a focus on their application in development of SNSPD devices.

elib-URL des Eintrags:https://elib.dlr.de/65679/
Dokumentart:Konferenzbeitrag (Poster)
Titel:TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-AdresseAutoren-ORCID-iDORCID Put Code
Il’in, K.Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Karlsruher Institut für Technologie, Hertzstr. 16, 76187 Karlsruhe,NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Rall, D.Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Karlsruher Institut für Technologie, Hertzstr. 16, 76187 Karlsruhe,NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Hofherr, M.Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Karlsruher Institut für Technologie, Hertzstr. 16, 76187 Karlsruhe,NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Siegel, M.Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Karlsruher Institut für Technologie, Hertzstr. 16, 76187 Karlsruhe,NICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Semenov, AlexeyAlexei.Semenov (at) dlr.deNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Hübers, H.-W.heinz-wilhelm.huebers (at) dlr.deNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Engel, A.Physik-Institut der Universität Zürich Winterthurerstrasse 190 8057 Zürich, SchweizNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Schilling, A.Physik-Institut der Universität Zürich Winterthurerstrasse 190 8057 Zürich, SchweizNICHT SPEZIFIZIERTNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:Oktober 2010
Erschienen in:Tagungsband
Open Access:Nein
Gold Open Access:Nein
In SCOPUS:Nein
In ISI Web of Science:Nein
Seitenbereich:Seite 51
Verlag:DLR
Status:veröffentlicht
Stichwörter:TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors, higher intrinsic detection efficiency, wider spectral range, SNSPD devices
Veranstaltungstitel:Kryo 2010
Veranstaltungsort:Zeuthen, Brandenburg
Veranstaltungsart:nationale Konferenz
Veranstaltungsbeginn:3 Oktober 2010
Veranstaltungsende:5 Oktober 2010
Veranstalter :DLR, Prof. Hübers
HGF - Forschungsbereich:Luftfahrt, Raumfahrt und Verkehr
HGF - Programm:Verkehr
HGF - Programmthema:Verkehrsmanagement (alt)
DLR - Schwerpunkt:Verkehr
DLR - Forschungsgebiet:V VM - Verkehrsmanagement
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):V - FAMOUS (alt)
Standort: Berlin-Adlershof
Institute & Einrichtungen:Institut für Planetenforschung > Terahertz- und Infrarotsensorik
Hinterlegt von: Stiebeler, Ulrike
Hinterlegt am:04 Jan 2011 17:32
Letzte Änderung:24 Apr 2024 19:31

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