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TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors

Il’in, K. und Rall, D. und Hofherr, M. und Siegel, M. und Semenov, A. D. und Hübers, H.-W. und Engel, A. und Schilling, A. (2010) TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors. In: Tagungsband, Seite 51. DLR. Kryo 2010, 03.-05.10.2010, Zeuthen, Brandenburg.

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Kurzfassung

Development of superconducting nanowire single-photon detectors (SNSPD) with a higher intrinsic detection efficiency, stronger absorption in a wider spectral range stimulates a study of thin films of different superconducting materials. The tantalum nitride TaN thin films are typically used as an insulator in multi-layer system for SIS device fabrication [1] or as cover layer to improve the hardness and chemical stability of any surfaces. At the same time there are only few and sometimes contradictory publications about superconductivity in thin films of TaN [1, 2]. We present results on fabrication and characterization of TaN thin films with a focus on their application in development of SNSPD devices.

Dokumentart:Konferenzbeitrag (Poster)
Titel:TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-Adresse der Autoren
Il’in, K.Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Karlsruher Institut für Technologie, Hertzstr. 16, 76187 Karlsruhe,
Rall, D.Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Karlsruher Institut für Technologie, Hertzstr. 16, 76187 Karlsruhe,
Hofherr, M.Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Karlsruher Institut für Technologie, Hertzstr. 16, 76187 Karlsruhe,
Siegel, M.Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Karlsruher Institut für Technologie, Hertzstr. 16, 76187 Karlsruhe,
Semenov, A. D.Alexei.Semenov@dlr.de
Hübers, H.-W.heinz-wilhelm.huebers@dlr.de
Engel, A.Physik-Institut der Universität Zürich Winterthurerstrasse 190 8057 Zürich, Schweiz
Schilling, A.Physik-Institut der Universität Zürich Winterthurerstrasse 190 8057 Zürich, Schweiz
Datum:Oktober 2010
Erschienen in:Tagungsband
Seitenbereich:Seite 51
Verlag:DLR
Status:veröffentlicht
Stichwörter:TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors, higher intrinsic detection efficiency, wider spectral range, SNSPD devices
Veranstaltungstitel:Kryo 2010
Veranstaltungsort:Zeuthen, Brandenburg
Veranstaltungsart:nationale Konferenz
Veranstaltungsdatum:03.-05.10.2010
Veranstalter :DLR, Prof. Hübers
HGF - Forschungsbereich:Verkehr und Weltraum (alt)
HGF - Programm:Verkehr
HGF - Programmthema:Verkehrsmanagement
DLR - Schwerpunkt:Verkehr
DLR - Forschungsgebiet:V VM - Verkehrsmanagement
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):V - FAMOUS (alt)
Standort: Berlin-Adlershof
Institute & Einrichtungen:Institut für Planetenforschung > Terahertz- und Infrarotsensorik
Hinterlegt von: Ulrike Stiebeler
Hinterlegt am:04 Jan 2011 17:32
Letzte Änderung:04 Jan 2011 17:32

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