elib
DLR-Header
DLR-Logo -> http://www.dlr.de
DLR Portal Home | Impressum | Kontakt | English
Schriftgröße: [-] Text [+]

NbN ultra-thin film Hot-Electron Detector for THZ application: Fabrication issues

Il'in, Konstantin und Stockhausen, Axel und Neuhaus, Manfred und Wermund, Hans-Jürgen und Siegel, Michael und Semenov, Alexey und Hübers, Heinz-Wilhelm (2006) NbN ultra-thin film Hot-Electron Detector for THZ application: Fabrication issues. Kryoelektronische Bauelemente (Kryo 2006), 2006-10-03 - 2006-10-05, Ilmenau (BRD).

Dieses Archiv kann nicht den gesamten Text zur Verfügung stellen.

Kurzfassung

Superconducting Hot-Electron Detector (HED) is one of promising devices for a wide range of THz applications: astronomy, spectroscopy, imaging, and security. Actually HED is a rectangular strip of superconducting thin film embedded into antenna structure. We have developed thin film technology for fabrication of HED based on ultra-thin NbN films. The NbN ultra-thin film with a thickness of about 4 – 5 nm and T<sub>c</sub> about 10 K are fabricated by reactive magnetron sputtering from a Nb target in argon + nitrogen atmosphere onto heated sapphire or Si substrates. The antenna structure of the device is patterned by a two-steps electron-beam lithography and lift-off process of deposited Ti(Nb,NbN)/Au/Ti(Nb) tri-layers with a total thickness about 300 nm. Finally, a 200 – 300 nm long NbN bridge embedded into a log-period antenna structure is formed by electron-beam lithography and ion milling.

Dokumentart:Konferenzbeitrag (Poster)
Titel:NbN ultra-thin film Hot-Electron Detector for THZ application: Fabrication issues
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-Adresse der Autoren
Il'in, KonstantinUniversität Karlsruhe
Stockhausen, AxelUniversität Karlsruhe
Neuhaus, ManfredUniversität Karlsruhe
Wermund, Hans-JürgenUniversität Karlsruhe
Siegel, MichaelUniversität Karlsruhe
Semenov, AlexeyNICHT SPEZIFIZIERT
Hübers, Heinz-WilhelmNICHT SPEZIFIZIERT
Datum:Oktober 2006
Status:veröffentlicht
Stichwörter:hot-electron detector, thin film fabrication
Veranstaltungstitel:Kryoelektronische Bauelemente (Kryo 2006)
Veranstaltungsort:Ilmenau (BRD)
Veranstaltungsart:internationale Konferenz
Veranstaltungsdatum:2006-10-03 - 2006-10-05
Veranstalter :Institut für physikalische Hochtechnologie e. V. Jena
HGF - Forschungsbereich:Verkehr und Weltraum (alt)
HGF - Programm:Weltraum (alt)
HGF - Programmthema:W - keine Zuordnung
DLR - Schwerpunkt:Weltraum
DLR - Forschungsgebiet:W - keine Zuordnung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):W -- keine Zuordnung (alt)
Standort: Berlin-Adlershof
Institute & Einrichtungen:Institut für Planetenforschung > Terahertz- und Infrarotsensorik
Hinterlegt von: Dr. Philipp Moritz Haas
Hinterlegt am:25 Okt 2006
Letzte Änderung:27 Apr 2009 13:11

Nur für Mitarbeiter des Archivs: Kontrollseite des Eintrags

Blättern
Suchen
Hilfe & Kontakt
Informationen
electronic library verwendet EPrints 3.3.12
Copyright © 2008-2013 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR). Alle Rechte vorbehalten.