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Charakterisierung von Oberflaechen mit Rauhigkeiten unter 0,1 nm.

Schmitt, D.-R. (1990) Charakterisierung von Oberflaechen mit Rauhigkeiten unter 0,1 nm. Kongress Microsystems, 10.-13. September 1990, Berlin.

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Kurzfassung

Bei der Miniaturisierung von Mikrosystemen stoesst man an Grenzen, die durch die Mikrorauhigkeit der verwendeten Oberflaechen vorgegeben sind. Daher kommt der Entwicklung und Charakterisierung von Oberflaechen mit Rauhigkeiten unter 0,1 nm eine Schluesselrolle zu. Superpolierte Oberflaechen wurden bei der DLR aus BK7, Quarzglas, Zerodur und Silizium entwickelt und charakterisiert. Zur Charakterisierung der Oberflaechen wurde die Differential- Interferenzkontrast-Mikroskopie nach Nomarski eingesetzt. Unter Verwendung einer ausgesuchten Objektiv-Prisma-Kombination mit minimiertem internen Streulicht konnten Rauhigkeiten unter 0,05 nm aufgeloest und kontrastreich abgebildet werden. Um quantitative Informationen zu erhalten, wurde die Rauhigkeit der Oberflaechen mit Hilfe von Streulichtmessungen, mit Phasenverschiebungs- Interferometrie, mit Heterodyn-Profilometrie und mit mechanischer Abtastung ermittelt. Es wird demonstriert, dass es moeglich ist, superpolierte Oberflaechen mit Rauhigkeiten unter 0,05 nm herzustellen und zu charakterisieren.

Dokumentart:Konferenzbeitrag (Vortrag)
Zusätzliche Informationen: LIDO-Berichtsjahr=1990,
Titel:Charakterisierung von Oberflaechen mit Rauhigkeiten unter 0,1 nm.
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-Adresse der Autoren
Schmitt, D.-R.NICHT SPEZIFIZIERT
Datum:1990
Status:veröffentlicht
Stichwörter:Oberflaeche, Rauhigkeit
Veranstaltungstitel:Kongress Microsystems, 10.-13. September 1990, Berlin
HGF - Forschungsbereich:NICHT SPEZIFIZIERT
HGF - Programm:keine Zuordnung
HGF - Programmthema:keine Zuordnung
DLR - Schwerpunkt:NICHT SPEZIFIZIERT
DLR - Forschungsgebiet:keine Zuordnung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):L -- keine Zuordnung
Standort: Braunschweig
Institute & Einrichtungen:Institut für Flugführung
Hinterlegt von: elib DLR-Beauftragter
Hinterlegt am:02 Apr 2006
Letzte Änderung:27 Apr 2009 07:08

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