Charakterisierung von Oberflaechen mit Rauhigkeiten unter 0,1 nm.

Abstract

Bei der Miniaturisierung von Mikrosystemen stoesst man an Grenzen, die durch die Mikrorauhigkeit der verwendeten Oberflaechen vorgegeben sind. Daher kommt der Entwicklung und Charakterisierung von Oberflaechen mit Rauhigkeiten unter 0,1 nm eine Schluesselrolle zu. Superpolierte Oberflaechen wurden bei der DLR aus BK7, Quarzglas, Zerodur und Silizium entwickelt und charakterisiert. Zur Charakterisierung der Oberflaechen wurde die Differential- Interferenzkontrast-Mikroskopie nach Nomarski eingesetzt. Unter Verwendung einer ausgesuchten Objektiv-Prisma-Kombination mit minimiertem internen Streulicht konnten Rauhigkeiten unter 0,05 nm aufgeloest und kontrastreich abgebildet werden. Um quantitative Informationen zu erhalten, wurde die Rauhigkeit der Oberflaechen mit Hilfe von Streulichtmessungen, mit Phasenverschiebungs- Interferometrie, mit Heterodyn-Profilometrie und mit mechanischer Abtastung ermittelt. Es wird demonstriert, dass es moeglich ist, superpolierte Oberflaechen mit Rauhigkeiten unter 0,05 nm herzustellen und zu charakterisieren.