Herstellungsparameter von hochreflektierenden Laserspiegeln.

Abstract

Fuer Anwendungen im Laserkreisel, in Hochenergielasern, in der optischen Praezisionsmesstechnik werden Spiegel mit Reflektivitaeten groesser als 0,9995 benoetigt. Bisher wurden die konventionellen Herstellungsverfahren fuer verlustarme Laserspiegel noch nicht in vollem Umfang optimiert, da es an der Messtechnik zur Erfassung extrem hoher Reflektivitaeten mangelte. Es wurde eine Praezisionsmesseinrichtung entwickelt, mit deren Hilfe Reflektivitaeten bis zu 0,99999 +- 0,00001 und Streulichtwerte bis zu 0,2 ppm aufgelaest werden koennen. Es wurden hochreflektierende und streulichtarme dielektrische Laserspiegel fuer den sichtbaren Spektralbereich entwickelt. Dazu wurden Schichtsysteme aus Ta2O5/SiO2 und PrTiO2/SiO2 durch Elektronenstrahlverdampfung hergestellt.