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Laser-based fabrication of micro system components.

Staud, J. und Menschig, A. und Raiber, A. und Abeln, T. (1996) Laser-based fabrication of micro system components. In: Proc. Micro System Technologies '96 (1996) 772-774. VDE-Verlag GmbH, Berlin und Offenbach. 5th International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, 17-19 September 1996.

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Dokumentart:Konferenzbeitrag (Paper)
Zusätzliche Informationen: institution=H. Reichl, A. Heuberger (Ed.), LIDO-Berichtsjahr=1996,
Titel:Laser-based fabrication of micro system components.
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-Adresse der Autoren
Staud, J.NICHT SPEZIFIZIERT
Menschig, A.NICHT SPEZIFIZIERT
Raiber, A.Inst.f.Strahlwerkzeuge, Universität Stuttgart
Abeln, T.Inst.f.Strahlwerkzeuge, Universität Stuttgart
Datum:1996
Erschienen in:Proc. Micro System Technologies '96 (1996) 772-774
Verlag:VDE-Verlag GmbH, Berlin und Offenbach
Status:veröffentlicht
Stichwörter:Laser tools, micro components
Veranstaltungstitel:5th International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, 17-19 September 1996
HGF - Forschungsbereich:NICHT SPEZIFIZIERT
HGF - Programm:Luftfahrt
HGF - Programmthema:keine Zuordnung
DLR - Schwerpunkt:NICHT SPEZIFIZIERT
DLR - Forschungsgebiet:L - keine Zuordnung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):L - Laserforschung und -technologie
Standort: Stuttgart
Institute & Einrichtungen:Institut für Technische Physik
Hinterlegt von: elib DLR-Beauftragter
Hinterlegt am:02 Apr 2006
Letzte Änderung:27 Apr 2009 05:52

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