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Ultrashort pulse damage of Si an Ge semiconductors

Allenspacher, P. und Riede, W. und Hüttner, B. (2003) Ultrashort pulse damage of Si an Ge semiconductors. In: Proceedings: Laser-Induced Damage in Optical Materials: 2002 and International Workshop on Laser Beam and Optics Characterization, 4932, Seiten 358-365. SPIE. Boulder Damage Symposium, Boulder CO, USA, 16.-18.9.2002. ISBN 0-8194-4727-7.

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Kurzfassung

An investigation of ultrashort pulse damage threshold of semiconductors (Si, Ge) has been carried out. As the source of radiation, a Clark CPA Ti:sapphire laser system (wavelength 775 nm) has been used. It produces laser pulses of 0.5 mJ pulse energy at 1 kHz repetition rate, providing a Gaussian-like beam profile. Compressor detuning allowed to vary the pulse duration from 150 fs to 20 ps. The laser damage thresholds were measured for this pulse duration range. The damage morphologies were investigated with various microscopic inspection techniques like Nomarski DIC, atomic force microscopy and white light interference microscopy.

Dokumentart:Konferenzbeitrag (Paper)
Zusätzliche Informationen: LIDO-Berichtsjahr=2002,
Titel:Ultrashort pulse damage of Si an Ge semiconductors
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-Adresse der Autoren
Allenspacher, P.NICHT SPEZIFIZIERT
Riede, W.NICHT SPEZIFIZIERT
Hüttner, B.NICHT SPEZIFIZIERT
Datum:2003
Erschienen in:Proceedings: Laser-Induced Damage in Optical Materials: 2002 and International Workshop on Laser Beam and Optics Characterization
Band:4932
Seitenbereich:Seiten 358-365
Herausgeber:
HerausgeberInstitution und/oder E-Mail-Adresse der Herausgeber
Exarhos, Gregory J.NICHT SPEZIFIZIERT
Guenther, Arthur H.NICHT SPEZIFIZIERT
Kaiser, NorbertNICHT SPEZIFIZIERT
Lewis, Keith L.NICHT SPEZIFIZIERT
Soileau, M. J.NICHT SPEZIFIZIERT
Stolz, Christopher J.NICHT SPEZIFIZIERT
Giesen, AdolfNICHT SPEZIFIZIERT
Weber, HorstNICHT SPEZIFIZIERT
Verlag:SPIE
Name der Reihe:Proceedings of SPIE
ISBN:0-8194-4727-7
Status:veröffentlicht
Stichwörter:ultrashort laser pulse´, semiconductors, Ti:Sapphire laser, 1-on-1 LIDT, melting threshold
Veranstaltungstitel:Boulder Damage Symposium, Boulder CO, USA, 16.-18.9.2002
Veranstalter :SPIE
HGF - Forschungsbereich:Energie
HGF - Programm:Luftfahrt
HGF - Programmthema:keine Zuordnung
DLR - Schwerpunkt:Energie
DLR - Forschungsgebiet:L - keine Zuordnung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):L - Laserforschung und -technologie
Standort: Stuttgart
Institute & Einrichtungen:Institut für Technische Physik
Hinterlegt von: Dr.rer.nat. Hans-Albert Eckel
Hinterlegt am:16 Sep 2005
Letzte Änderung:06 Jan 2010 14:46

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