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Flexible design concept and fabrication technology for microsystems

Bähnisch, R. und Groß, W. und Menschig, A. (1999) Flexible design concept and fabrication technology for microsystems. In: precision engineering nanotechnology, Vol. 1, Seiten 506-509. Shaker Verlag, Aachen. 1st euspen conference, Bremen, 31 May - 04 June 1999. ISBN 3-8265-6085-X.

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Dokumentart:Konferenzbeitrag (Paper)
Zusätzliche Informationen: LIDO-Berichtsjahr=1999,
Titel:Flexible design concept and fabrication technology for microsystems
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-Adresse der Autoren
Bähnisch, R.NICHT SPEZIFIZIERT
Groß, W.NICHT SPEZIFIZIERT
Menschig, A.NICHT SPEZIFIZIERT
Datum:1999
Erschienen in:precision engineering nanotechnology
Band:Vol. 1
Seitenbereich:Seiten 506-509
Herausgeber:
HerausgeberInstitution und/oder E-Mail-Adresse der Herausgeber
McKeown, P.NICHT SPEZIFIZIERT
Corbett, J.NICHT SPEZIFIZIERT
Bonis, M.NICHT SPEZIFIZIERT
Sartori, S.NICHT SPEZIFIZIERT
Kunzmann, H.NICHT SPEZIFIZIERT
Wieck, M.NICHT SPEZIFIZIERT
Brinksmeier, E.NICHT SPEZIFIZIERT
Preuß, W.NICHT SPEZIFIZIERT
Riemer, O.NICHT SPEZIFIZIERT
Verlag:Shaker Verlag, Aachen
ISBN:3-8265-6085-X
Status:veröffentlicht
Stichwörter:Femtosecond laser, design concept
Veranstaltungstitel:1st euspen conference, Bremen, 31 May - 04 June 1999
Veranstalter :European Society for Precision Engineering
HGF - Forschungsbereich:Energie
HGF - Programm:Luftfahrt
HGF - Programmthema:keine Zuordnung
DLR - Schwerpunkt:Energie
DLR - Forschungsgebiet:L - keine Zuordnung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):L - Laserforschung und -technologie
Standort: Stuttgart
Institute & Einrichtungen:Institut für Technische Physik
Hinterlegt von: elib DLR-Beauftragter
Hinterlegt am:16 Sep 2005
Letzte Änderung:06 Jan 2010 14:37

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