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Femtosecond laser-based technology for fast development of micromechanical devices

Bähnisch, R. und Groß, W. und Staud, J. und Menschig, A. (1999) Femtosecond laser-based technology for fast development of micromechanical devices. Sensors and Actuators, A 74, Seiten 31-34.

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Dokumentart:Zeitschriftenbeitrag
Zusätzliche Informationen: LIDO-Berichtsjahr=1999,
Titel:Femtosecond laser-based technology for fast development of micromechanical devices
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-Adresse der Autoren
Bähnisch, R.NICHT SPEZIFIZIERT
Groß, W.NICHT SPEZIFIZIERT
Staud, J.NICHT SPEZIFIZIERT
Menschig, A.NICHT SPEZIFIZIERT
Datum:1999
Erschienen in:Sensors and Actuators
Referierte Publikation:Nein
In SCOPUS:Nein
In ISI Web of Science:Nein
Band:A 74
Seitenbereich:Seiten 31-34
Status:veröffentlicht
Stichwörter:Process technology, micromachining, Femtosecond laser, design concept, micromechanical device, micromanipulators
HGF - Forschungsbereich:Energie
HGF - Programm:Luftfahrt
HGF - Programmthema:keine Zuordnung
DLR - Schwerpunkt:Energie
DLR - Forschungsgebiet:L - keine Zuordnung
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):L - Laserforschung und -technologie
Standort: Stuttgart
Institute & Einrichtungen:Institut für Technische Physik
Hinterlegt von: elib DLR-Beauftragter
Hinterlegt am:16 Sep 2005
Letzte Änderung:06 Jan 2010 14:37

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