elib
DLR-Header
DLR-Logo -> http://www.dlr.de
DLR Portal Home | Impressum | Kontakt | English
Schriftgröße: [-] Text [+]

Ultra-thin NBN and TiN films for radiation sensors

Il´in, Konstantin und Siegel, Michael und Semenov, Alexey und Hübers, Heinz-Wilhelm und Hollmann, Evgeny (2005) Ultra-thin NBN and TiN films for radiation sensors. In: Kryoelektronische Bauelemente, Seite 58. KRYO 2005, 205-10-09 - 2005-10-11, Bad Herrenalb.

Dieses Archiv kann nicht den gesamten Text zur Verfügung stellen.

Kurzfassung

Ultra-thin superconducting films are widely used for fabrication of modern radiation sensors. The advantages of the superconductor based devices are a low noise level, an outstanding sensitivity and a high operating rate. Any particular application of a superconducting sensor requires optimisation of relevant film properties. Here we report on the development of a dc magnetron sputtering prosesses for deposition of TiN and NbN thin films. Optimisation of the deposition regime of 10 nm thin films, e.g. sputtering rate and substrate temperature, allowed us to obtain transition temperatures 14 K and 4.3 K for NbN and TiN films, respectively.

Dokumentart:Konferenzbeitrag (Poster)
Titel:Ultra-thin NBN and TiN films for radiation sensors
Autoren:
AutorenInstitution oder E-Mail-Adresse der Autoren
Il´in, KonstantinInstitut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Universität Karlsruhe
Siegel, MichaelInstitut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Universität Karlsruhe
Semenov, AlexeyNICHT SPEZIFIZIERT
Hübers, Heinz-WilhelmNICHT SPEZIFIZIERT
Hollmann, EvgenyForschungszentrum Jülich
Datum:2005
Erschienen in:Kryoelektronische Bauelemente
Referierte Publikation:Nein
In SCOPUS:Nein
In ISI Web of Science:Nein
Seitenbereich:Seite 58
Herausgeber:
HerausgeberInstitution und/oder E-Mail-Adresse der Herausgeber
Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme, Universität Karlsruhe, NICHT SPEZIFIZIERT
Status:veröffentlicht
Stichwörter:Dünnschichtfilme, NbN, TiN, Detektor, Photonenzähler
Veranstaltungstitel:KRYO 2005
Veranstaltungsort:Bad Herrenalb
Veranstaltungsart:nationale Konferenz
Veranstaltungsdatum:205-10-09 - 2005-10-11
Veranstalter :Universität Karlsruhe
HGF - Forschungsbereich:Verkehr und Weltraum (alt)
HGF - Programm:Weltraum (alt)
HGF - Programmthema:W EW - Erforschung des Weltraums
DLR - Schwerpunkt:Weltraum
DLR - Forschungsgebiet:W EW - Erforschung des Weltraums
DLR - Teilgebiet (Projekt, Vorhaben):W - Projekt SOFIA (alt)
Standort: Berlin-Adlershof
Institute & Einrichtungen:Institut für Planetenforschung > Terahertz- und Infrarotsensorik
Hinterlegt von: Prof.Dr. Alexey Semenov
Hinterlegt am:11 Dez 2005
Letzte Änderung:27 Apr 2009 04:44

Nur für Mitarbeiter des Archivs: Kontrollseite des Eintrags

Blättern
Suchen
Hilfe & Kontakt
Informationen
electronic library verwendet EPrints 3.3.12
Copyright © 2008-2013 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR). Alle Rechte vorbehalten.