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Wechselwirkung zwischen Herstellungsparametern und Schichteigenschaften ausgewählter metallischer und keramischer Systeme bei der Magnetron-Kathodenzerstäubung

Leyens, C. (1998) Wechselwirkung zwischen Herstellungsparametern und Schichteigenschaften ausgewählter metallischer und keramischer Systeme bei der Magnetron-Kathodenzerstäubung. In: Grund- und Werkstoffe 5, 534. VDI-Verlag, Düsseldorf. pp. 1-118. ISBN 3-18-353405-3.

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Document Type:Book Section
Additional Information: LIDO-Berichtsjahr=1999,
Title:Wechselwirkung zwischen Herstellungsparametern und Schichteigenschaften ausgewählter metallischer und keramischer Systeme bei der Magnetron-Kathodenzerstäubung
Authors:
AuthorsInstitution or Email of Authors
Leyens, C.UNSPECIFIED
Date:1998
Journal or Publication Title:Grund- und Werkstoffe
Refereed publication:Yes
In ISI Web of Science:No
Volume:534
Page Range:pp. 1-118
Publisher:VDI-Verlag, Düsseldorf
Series Name:5
ISBN:3-18-353405-3
Status:Published
HGF - Research field:Aeronautics, Space and Transport (old)
HGF - Program:Aeronautics
HGF - Program Themes:other
DLR - Research area:Aeronautics
DLR - Program:L TT - Triebwerkstechnologien
DLR - Research theme (Project):UNSPECIFIED
Location: Köln-Porz
Institutes and Institutions:Institute of Materials Research
Deposited By: elib DLR-Beauftragter
Deposited On:16 Sep 2005
Last Modified:14 Jan 2010 16:40

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